[发明专利]太阳能电池的制造方法

权利要求书

1.一种制造太阳能电池的方法，该方法包括以下步骤：

在透明基板上形成第一透明导电层；

利用蚀刻剂溶液对所述第一透明导电层的上表面进行纹理化，该蚀刻剂溶液包含分子量约为58～300的酸；

在所述第一透明导电层上形成光电转换层；

在所述光电转换层上形成第二透明导电层；以及

在所述第二透明导电层上形成背电极。

2.根据权利要求1所述的方法，其中形成所述第一透明导电层的步骤包括在所述透明基板上沉积氧化锌的工序。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述氧化锌被掺杂有镓、铝和硼中的任意一种。

4.根据权利要求1所述的方法，其中形成所述透明导电层的步骤包括在约150℃～180℃的温度范围内在所述透明基板上沉积透明导电氧化物材料的工序。

5.根据权利要求1所述的方法，其中对所述透明导电层的上表面进行的纹理化使得在所述第一透明导电层上能够形成具有约0.5μm～1.0μm的间距范围的不平坦图案。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述蚀刻剂溶液包含醋酸。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述醋酸在所述蚀刻剂溶液中的含量是约1wt％到4wt％。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述酸包含氢键。