[发明专利]用于清洗基板的装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于清洗基板的装置，更具体地，涉及用于清洗大尺寸基板的装置，其能够防止多孔清洗板与构成质清洗单元的歧管(manifold)之间的泄漏，还能够抑制由于紧固引起的对多孔清洗板的损伤。

背景技术

在现在的信息社会中，显示设备作为视觉信息传播媒体日益受到重视，但是为了在将来占据首要位置，它们应当满足如功耗低、外形薄、重量轻、画面质量高的要求。

显示设备可以分为能够自己发光的发射型显示器，如阴极射线管(CRT)、电致发光(EL)、发光二极管(LED)、真空荧光显示器(VFD)、场发射显示器(FED)、等离子显示板(PDP)等，和不能自己发光的非发射型显示器，如液晶显示设备。

液晶显示器是一种利用液晶分子的光学各向异性来呈现图像的设备，近年来，它与PDP显示器一起作为第二代设备受到关注，因为其清晰度比CRT更优良，并且其平均功耗和散热比相同屏幕尺寸的CRT更低。

由于用于液晶显示设备的液晶不是能自己发光的发光材料，而是对光量进行调节以便在屏幕上显示图像的受光材料，因此，它需要具有单独的光源，即，用来向液晶面板照射光的背光组件。

在下文中，将详细描述液晶显示设备。

如果没有特别提出，则在已完成的液晶显示设备中，将设置灯的部分称为下部，而将设置液晶面板的部分称为上部。

液晶显示设备可包括：液晶面板，其中在阵列基板和滤色器基板之间注入液晶分子以输出图像；在液晶面板的背表面上提供的背光组件，用于在液晶面板的整个表面上方发光；和多个壳体元件，用来将液晶面板固定到背光组件以使它们彼此结合。

通常，液晶显示设备基于视频信号控制液晶单元的光透射率来显示图像，并且在每个像素单元处形成有开关元件的有源矩阵型液晶显示设备在显示运动图像方面是有利的。此时，薄膜晶体管主要用作该开关元件。

这里，液晶面板的制作工艺可以大致分为在下阵列基板上形成开关元件的阵列工艺、在上滤色器基板上形成滤色器的滤色器工艺、以及单元工艺，并且每个基板都将在这些工艺之前或之后经历清洗工艺。

多种清洗设备被用于该基板清洗工艺，并且其中的多孔临近式(porousproximity)清洗设备是这样一种清洗方法：其利用空气浮置单元使玻璃基板浮起，以便将该玻璃基板送入清洗机，并且在一种在清洗区域中形成位于玻璃基板的上部和下部处的小于100um处的间隙的状态下，供应去离子水和空气，以产生去离子水流和泡沫流，同时移除微粒和吸附物质。

这种多孔清洗设备可包括多孔清洗板、歧管和上框架，并且通过有机粘合剂等形成多孔清洗板和歧管的结合。

然而，根据现有技术的多孔清洗设备具有如下所述的问题。

在根据现有技术的多孔清洗设备中，当在多孔清洗板和歧管之间进行固定时可以使用有机粘合剂，但是这有一个缺点，那就是不适用于具有很多孔的清洗器。具体来讲，会发生有机粘合剂涂敷可能不均匀并由此产生漏气的情形。

发明内容

本发明设法解决前面提到的问题，并且本发明的目的是提供一种清洗基板的设备，能够防止多孔清洗板和组成杂质清洗单元的歧管之间的泄漏。

本发明的另一个目的是提供一种清洗基板的设备，能够通过采用使用插入块在大尺寸多孔清洗板和歧管之间进行紧固的间接紧固法来抑制由于紧固而造成的对于多孔清洗板的损伤和应力。

本发明的其他目的和特征将在本发明的构造和附在之后的权利要求中描述。

为了实现上述目的，根据本发明的清洗基板的设备特征在于包括：基板插入引导单元，用于从外部插入基板；杂质移除单元，用于从基板插入引导单元接收基板以移除形成在该基板上的杂质；杂质清洗单元，用于从杂质移除单元接收基板，以清洗并移除残留在该基板上的杂质；和位置控制单元，用于控制从杂质清洗单元运出的基板的位置，其中杂质清洗单元包括：形成有多个紧固孔的插入块；多孔清洗板，其中插入块插入以规则间隔形成的凹槽内；和歧管，经由插入块中的紧固孔插入紧固螺丝以将歧管与多孔清洗板组合。

如上所述，根据本发明的基板清洗设备，利用插入块使多孔清洗板和歧管彼此紧固，由此提供了防止在其组合部分产生漏气的效果，并且增强了大尺寸清洗板和歧管之间的紧固力。

此外，如上所述，采用使用插入块在大尺寸多孔清洗板和歧管之间进行紧固的间接紧固法，由此使由于紧固而引起的对多孔清洗板的损伤和应力最小化。

另外，根据依据本发明的清洗基板的设备，多孔清洗板和歧管之间的紧固是简单的操作，并且在紧固过程期间多孔清洗板没有受到损伤，由此提供了能够清洗大尺寸基板的优点。

附图说明