[发明专利]准分子灯装置无效
| 申请号： | 200910262452.6 | 申请日： | 2009-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101752195A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 远藤真一 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | H01J65/00 | 分类号： | H01J65/00;F21V17/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐冰冰;黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分子 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种准分子灯装置，一面输送被处理物一面照射准分子光，该准分子灯装置具备：灯罩；准分子灯，被收容于该灯罩内；以及输送机构；其特征在于，
输入被处理物的前室连结设置在比上述灯罩靠近输送方向上游的一侧；
在该前室内，设置有惰性气体导入口以及气体喷出单元，该惰性气体导入口用于将该前室内的气体置换为惰性气体，该气体喷出单元用于沿着输送方向对该被处理物喷出惰性气体；
该被处理物是由聚乙烯醇、三醋酸纤维素、聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚乙烯中任一一种形成的薄膜状的树脂材料。
2.如权利要求1所述的准分子灯装置，其特征在于，
上述气体喷出单元设置于上述被处理物的上下。
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