[发明专利]准分子灯装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种准分子灯装置。尤其涉及一种用于在液晶面板及液晶显示装置的制造工序中使用的树脂材料的表面改良的准分子灯装置。

背景技术

在液晶显示装置中，起偏振片配置于构成液晶面板的玻璃基板的两侧。起偏振片是起偏振镜保护薄膜粘贴于起偏振镜上而制作的。一般使用将使用了三醋酸纤维素(TAC)等的透明保护薄膜(起偏振镜保护薄膜)通过聚乙烯醇(PVA)系粘结剂粘贴于聚乙烯醇(PVA)系薄膜等的树脂材料所构成的起偏振镜的两面的起偏振片。为了利用水系粘结材料良好地粘贴这些树脂材料，优选表面亲水性高的材料。

最近，作为这些树脂材料的表面改良方法，照射真空紫外线的方法受到关注。根据日本特开2008-122921号公报，记载有利用准分子灯照射波长200nm以下的真空紫外线，由此，切断起偏振镜的表面部分的化学结合，同时在起偏振镜表面形成有亲水性的官能团。

依照上述方法，在短时间内可实施TAC，PVA等的树脂材料的表面改良处理。由此，可良好地进行粘结剂的涂敷，因而在粘接起偏振镜与保护薄膜时，也不会混入空气。而且，不会发生因处理所引起的污染，因而也不需要处理后的洗净工序。

【专利文献1】日本特开2008-122921号

针对进行上述方法所用的单元例示于专利文献1，有将准分子灯作为光源进行照射处理的准分子灯装置。

图8是表示为了进行上述方法所构成的准分子灯装置(参考例1)。

在灯罩50的内部配置有准分子灯70。灯罩50的内部被从气体导入口51所导入的惰性气体充满。被处理物W通过辊式输送机等输送机构40输送，并且被送入灯罩50内。真空紫外线从准分子灯70照射在该被处理物W，被送到下一工序。

使用图8的装置，当进行上述专利文献1所述的表面改良处理时，则即使为短时间的照射也简单地可进行不会发生污染的处理。因此为了活用该方法的优点，优选尽量以高速输送被处理物，以缩短照射时间。

但是，当将被处理物的输送速度高速化时，则与被处理物一起侵入至灯罩内部的空气量会增加，而通过在该空气中包含的氧会使真空紫外线衰减，因而发生降低照射光量而无法进行所期望的处理的问题。

作为防止空气混入此种装置内部的单元，考虑有将惰性气体喷在被处理物的表面的方法。

图9是将惰性气体喷出单元附加于图8的准分子灯装置的结构的准分子灯装置(参考例2)。针对于惰性气体喷出单元以外的构成与图8同样而省略说明。

表示于图9的装置是在灯罩上游侧，对于刚输入至内部之前的被处理物，通过朝输送方向喷上惰性气体，作成防止空气侵入至灯罩内部的装置。

但是，即使通过表示于图9的装置，惰性气体喷出单元喷出的气体流，也会卷入周围的空气，使得含有空气的气体流会喷在被处理物上，而无法防止空气侵入至灯罩内。

如此，当使被处理物的输送速度高速化时，侵入至灯罩内的空气量会增加而无法进行所期望的处理。即，即使使用将准分子灯照射在树脂材料的表面改良的方法，也有无法活用其优点的课题。

发明内容

综上所述，在本发明中，目的在于提供一种即使高速输送被处理物，也不会有空气被卷入装置内，而以惰性气体置换移动的被处理物表面，能够高效地照射真空紫外线的准分子灯装置。

为了解决上述课题，本发明的准分子灯装置一面输送被处理物一面照射准分子光，该准分子灯装置具备：灯罩；准分子灯，被收容于该灯罩内；及输送机构；其特征为：输入被处理物的前室连结设置在比上述灯罩靠近输送方向上游的一侧，在该前室内，设置有惰性气体导入口以及气体喷出单元，该惰性气体导入口用于将该前室内的气体置换为惰性气体，该气体喷出单元用于沿着输送方向对该被处理物喷出惰性气体，该被处理物是由聚乙烯醇、三醋酸纤维素、聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚乙烯中任一一种形成的薄膜状的树脂材料。

而且，本发明的气体喷出单元的特征为，设置于被处理物的上下，从被处理物的上下喷出惰性气体。

发明效果

依照本发明，输入被处理物的前室连结设置在比灯罩靠近输送方向上游的一侧，在前室内，设置有用于通过惰性气体置换前室内的气体的惰性气体导入口以及沿着输送方向对被处理物喷出惰性气体的气体喷出单元，被处理物是聚乙烯醇、三醋酸纤维素、聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚乙烯的任一薄膜状的树脂材料，由此，即使以高速输入被处理物，也不会将空气卷入灯罩内。因此，从准分子灯照射的紫外线由于氧不会衰减而能够高效地实施紫外线照射处理。