[发明专利]溅镀装置

权利要求书

1.一种溅镀装置，其特征在于：包括第一筒状物和第二筒状物，该第二筒状物位于该第一筒状物内，该第二筒状物设有若干开孔，每个开孔用于放置待镀工件，该第二筒状物可相对该第一筒状物转动，该第一筒状物和该第二筒状物之间设有若干第一靶材，每个第一靶材具有一个第一溅镀面，每个第一溅镀面朝向至少一个开孔，至少一个第一溅镀面和该至少一个开孔所在平面相交。

2.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于：相交角度大于等于5度且小于等于10度。

3.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于：该若干第一靶材沿该第一筒状物圆周方向等距分布。

4.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于：该若干第一靶材与该第一筒状物相连。

5.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于：进一步包括若干第二靶材，该若干第二靶材设于该第二筒状物内，每个第二靶材具有一个第二溅镀面，每个第二溅镀面朝向至少一个开孔，至少一个第二溅镀面和该至少一个开孔所在平面相交。

6.如权利要求5所述的溅镀装置，其特征在于：该至少一个第二溅镀面和该至少一个开孔所在平面的相交角度大于等于5度且小于等于10度。

7.如权利要求5所述的溅镀装置，其特征在于：进一步包括内支架，该内支架设于该第二筒状物内，用于固定该若干第二靶材。

8.如权利要求5所述的溅镀装置，其特征在于：该若干第一靶材和该若干第二靶材在位置上一一对应。