[发明专利]镀膜装置无效

专利信息
申请号: 200910304589.3 申请日: 2009-07-21
公开(公告)号: CN101962753A 公开(公告)日: 2011-02-02
发明(设计)人: 裴绍凯 申请(专利权)人: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C16/54
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518109 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 镀膜 装置
【权利要求书】:

1.一种该镀膜装置,其包括一个支架,多个镀膜腔体,多个独立的传送带,多个转台,以及至少一个承载盘,所述多个镀膜腔体间隔设置在所述支架上,每个镀膜腔体包括一个舱门,所述多个传送带环绕所述每个镀膜腔体设置在所述支架上并延伸至每一个镀膜腔体的舱门外,所述多个转台分别设置在每两条相互独立的传送带之间,所述至少一个承载盘承载在所述传送带上,并在所述传送带的带动下依次进入所述多个镀膜腔体对承载在承载盘上的工件进行镀膜。

2.如权利要求1所述的镀膜装置,其特征在于:在所述支架的表面设置有多个内凹的轨道,所述内凹的轨道环绕所述镀膜腔体并延伸至镀膜腔体的舱门外,所述传送带设置在所述轨道内。

3.如权利要求2所述的镀膜装置,其特征在于:在所述转台的表面上设置有与支架的轨道相对应且可匹配连接的导轨。

4.如权利要求3所述的镀膜装置,其特征在于:在所述转台上设置有多个感测器、一个旋转伺服机构以及一个传送伺服机构,所述多个感测器分别布置在所述转台的表面上用以感测承载盘与传送带接触的表面是否完全进入,当所述承载盘完全脱离轨道及传送带后,所述多个感测器同时发出信号至所述旋转伺服机构,所述旋转伺服机构使转台旋转度与下一个传送带及轨道相对接,当所述旋转伺服机构旋转完毕后发出信号给传送伺服机构,所述传送伺服机构带动所述承载盘进入下一轨道并由传送带运载至指定位置处。

5.如权利要求4所述的镀膜装置,其特征在于:所述支架的轨道内设置有变轨感测器,所述变轨感测器在有承载盘通过该轨道时发出信号给转台,所述转台的旋转伺服机构接受设置在支架上的变轨感测器的信号后驱动转台与具有承载盘的轨道相对接。

6.如权利要求5所述的镀膜装置,其特征在于:所述承载盘的底部设置有两个滚轮。

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