[发明专利]工件真空溅镀方法及装置

权利要求书

1.一种工件真空溅镀方法，应用于具有二可相连通腔室的真空溅镀装置中，该真空溅镀装置包括第一腔室，第二腔室，设于该第一腔室内的第一吊架，设于该第二腔室内的第二吊架，该方法包括下列步骤：

将第一工件置于第一腔室内的第一吊架上进行预热；

将第一腔室内的第一吊架与第二腔室内的第二吊架进行交换；

将第二腔室内已预热的第一工件进行溅镀；

将第一腔室内的第二吊架与第二腔室内的第一吊架进行交换；

将第一腔室内完成溅镀的第一工件取出。

2.如权利要求1所述的工件真空溅镀方法，其特征在于：将所述第一工件进行预热后，将所述第一腔室内的第一吊架与所述第二腔室内的第二吊架进行交换步骤进行前，以及将所述第一工件进行溅镀后，将所述第一腔室内的第二吊架与所述第二腔室内的第一吊架进行交换步骤进行前，所述第一腔室与第二腔室皆为真空状态，所述第一腔室与所述第二腔室相连通。

3.如权利要求1所述的工件真空溅镀方法，其特征在于：所述将第一腔室内的第二吊架与第二腔室内的第一吊架进行交换后，所述将第一腔室内完成溅镀的第一工件取出步骤进行前，所述第一腔室与所述第二腔室相隔离。

4.如权利要求1所述的工件真空溅镀方法，其特征在于：在将第一腔室内的第一吊架与第二腔室内的第二吊架进行交换后，进一步包括将第二工件置于第一腔室内的第二吊架上进行预热的步骤；在将第一腔室内的第二吊架与第二腔室内的第一吊架进行交换后，进一步包括将第二腔室内预热的第二工件进行溅镀的步骤。

5.如权利要求4所述的工件真空溅镀方法，其特征在于：所述将第二工件置于第一腔室内的第二吊架上进行预热的步骤与所述将第二腔室内已预热的第一工件进行溅镀的步骤同时进行。

6.如权利要求1所述的工件真空溅镀方法，其特征在于：所述将第一工件置于第一腔室内的第一吊架上进行预热步骤中，以及所述将第二腔室内第一吊架上完成预热的第一工件进行溅镀的步骤中，所述第一腔室与所述第二腔室相隔离。

7.如权利要求6所述的工件真空溅镀方法，其特征在于：当对第一工件进行预热时，所述第一腔室为真空状态，当对第一工件进行溅镀时，所述第二腔室为真空状态。

8.一种真空溅镀装置，其特征在于，包括第一腔室、第二腔室、交换机构、隔离机构及抽真空机，第一腔室及第二腔室内设有吊架可供工件吊挂，所述第一腔室用以预热工件，所述第二腔室用以溅镀工件，所述交换机构设于所述第一腔室或所述第二腔室内用以交换所述第一腔室与所述第二腔室内的吊架，所述隔离机构设于所述第一腔室与所述第二腔室之间用以选择性的控制第一腔室与所述第二腔室连通与否，所述抽真空机连通于所述第一腔室与所述第二腔室用以将所述第一腔室与所述第二腔室内抽成真空状态。

9.如权利要求8所述的真空溅镀装置，其特征在于：所述隔离机构为阀门。

10.如权利要求8所述的真空溅镀装置，其特征在于：所述交换机构为机械手臂。