[发明专利]镀膜装置

权利要求书

1.一种镀膜装置，其包括镀膜室、承载装置、溅镀装置及蒸镀装置，所述承载装置包括固定板及用于承载镀膜工件的第一承载盘，所述固定板将镀膜室分隔成蒸镀腔和溅镀腔，所述溅镀装置设置于溅镀腔内，所述蒸镀装置与所述蒸镀腔对应连通，所述固定板开设有连通蒸镀腔和溅镀腔的镀膜通孔，所述第一承载盘可转动地安装于镀膜室内并位于镀膜通孔附近，以使第一承载盘通过转动可选择性地遮蔽或者暴露所述镀膜通孔，从而当所述第一承载盘暴露所述镀膜通孔时，使得第一承载盘承载的镀膜工件暴露于蒸镀腔和溅镀腔中的一个，并且当根据第一承载盘的转动使得第一承载盘遮蔽所述镀膜通孔时，所述第一承载盘承载的镀膜工件通过镀膜通孔暴露于蒸镀腔和溅镀腔中的另一个。

2.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述承载装置还包括第一转轴，所述第一转轴固定安装于镀膜室或者固定板，所述第一承载盘可转动地安装于第一转轴。

3.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置还包括第一转轴，所述第一转轴可转动地安装于镀膜室并延伸出镀膜室，所述第一承载盘固定安装于第一转轴，以使第一承载盘通过在镀膜室外转动第一转轴实现转动。

4.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述第一转轴安装于镀膜室，所述第一转轴平行于所述固定板。

5.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置还包括一个遮蔽板，所述遮蔽板用于在第一承载盘暴露镀膜通孔时遮蔽镀膜通孔。

6.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述承载装置还包括第二承载盘，所述第二承载盘用于承载另一镀膜工件，所述第二承载盘可转动地安装于镀膜室内并位于镀膜通孔附近，用于在第一承载盘暴露所述镀膜通孔时，通过转动使得所述第二承载盘遮蔽所述镀膜通孔。

7.如权利要求6所述的镀膜装置，其特征在于，所述承载装置还包括第二转轴，所述第二转轴可转动地安装于镀膜室并延伸出镀膜室，所述第二承载盘固定安装于第二转轴，以使第二承载盘通过在镀膜室外转动第二转轴实现转动。

8.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，环绕所述镀膜通孔设有支撑部，用于在第一承载盘遮蔽镀膜通孔时，与所述第一承载盘相接触以支撑所述第一承载盘。

9.如权利要求8所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜通孔的周围设置有定位凸块，所述定位凸块的高度大于支撑部的高度，所述承载盘开设有定位通孔，在第一承载盘通过转动遮蔽所述镀膜通孔时，所述第一承载盘与所述支撑部相接触，所述定位凸块配合收容于定位通孔。

10.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜室具有相对的顶板和底板，所述固定板设置于顶板和底板之间，所述溅镀装置固定于顶板，且与所述镀膜通孔相对，所述溅镀腔位于所述顶板与固定板之间，所述蒸镀装置固定于底板，也与所述镀膜通孔相对，所述蒸镀腔位于所述底板与固定板之间。

11.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括蒸镀坩埚、第一固定件和第二固定件，所述蒸镀坩埚固定于第一固定件，并与镀膜通孔相对，所述第一固定件与所述第二固定件通过螺纹可转动地配合，第二固定件固定于镀膜室，从而使得所述蒸镀坩埚通过第一固定件相对于第二固定件的转动调整位置。

12.如权利要求11所述的镀膜装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括设置于蒸镀坩埚与镀膜通孔之间的喷头，所述喷头具有圆台形空腔，所述喷头具有相对的第一端和第二端，自第一端向第二端其空腔直径逐渐变小，所述第一端固定于第二固定件，所述第二端具有开口，所述开口与镀膜通孔和蒸镀坩埚相对应，用于将来自蒸镀坩埚的蒸镀气体向镀膜通孔方向喷出。