[发明专利]改良西门子法中二级三氯氢硅的处理方法无效
| 申请号： | 200910308969.4 | 申请日： | 2009-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN101691223A | 公开（公告）日： | 2010-04-07 |
| 发明（设计）人： | 唐前正;张新;李钊;王璜;卫雄;山玉庸 | 申请（专利权）人： | 乐山乐电天威硅业科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C01B33/107;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所 51124 | 代理人： | 高芸 |
| 地址： | 614000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 改良 西门子 二级 三氯氢硅 处理 方法 | ||
【权利要求书】：
1.改良西门子法中二级三氯氢硅的处理方法，其特征在于：单独收集二级三氯氢硅。
2.根据权利要求1所述的改良西门子法中二级三氯氢硅的处理方法，其特征在于：收集二级三氯氢硅后进行提纯。
3.根据权利要求2所述的改良西门子法中二级三氯氢硅的处理方法，其特征在于：采用精馏对收集二级三氯氢硅后进行提纯。
4.根据权利要求3所述的改良西门子法中二级三氯氢硅的处理方法，其特征在于：所述精馏是采用双精馏塔串联进行连续精馏。
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