[发明专利]用以制造具有可辨识标记的基板的方法

权利要求书

1.一种用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于：包含：提供一基板；于该基板上规划至少二基板区域；提供一光罩，该光罩上四角落各包含预先形成的至少一光罩辨识标记，其中该光罩的周边范围是大于该基板的周边范围，且该些光罩辨识标记包含至少二类型的光罩辨识标记；及利用该光罩于该至少二基板区域上分别执行曝光，以于该至少二基板区域上形成对应至该些光罩辨识标记的至少八基板辨识标记，并使该至少八基板辨识标记中至少二基板辨识标记因重复曝光而消失，藉此，在该至少二基板区域上分别形成有对应至该至少二类型的光罩辨识标记的该些基板辨识标记。

2.根据权利要求1所述的用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于：其中该些光罩辨识标记及该些基板辨识标记包含文字、数字或符号。

3.根据权利要求1所述的用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于：其中该至少二基板区域是为直线排列。

4.根据权利要求1所述的用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于：其中该至少二基板区域是为非直线排列。

5.根据权利要求1所述的用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于：其中该些光罩辨识标记于该光罩上四角落是皆为相同。

6.根据权利要求1所述的用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于：其中该些光罩辨识标记于该光罩上四角落是皆不相同。

7.根据权利要求1所述的用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于；其中该些光罩辨识标记于该光罩上四角落是两两相同。

8.根据权利要求1所述的用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于：其中该基板为薄膜晶体管基板。

9.根据权利要求1所述的用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于：其中该基板为彩色滤光片基板。

10.根据权利要求1所述的用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于：更包含切割该基板的步骤，使该至少二基板区域分离。