[发明专利]用以制造具有可辨识标记的基板的方法

说明书

技术领域

本发明大体上是关于基板辨识的领域，更具体而言，是一种利用扫描式曝光以制造具有可辨识标记的基板的方法。

背景技术

随着笔记型计算机、显示器及电视等需求量不断提高，薄膜晶体管液晶显示器(Thin-Film Transistor Liquid Crystal Display，TFT-LCD)面板的出货量也随的增高，但面板的价格除了与供需有关之外，亦与其良率、经济切割尺寸等因素习习相关。

关于经济切割尺寸方面，为了节省成本，在面板制程中常会利用切裂基板的制程，其是将一尺寸较大的基板进行加工，之后进行切割以进一步制成复数个尺寸较小的面板，举例而言，可将一基板切割成四块，成为「1/4」切裂基板，如图1所示，以便在一次制程中能切割出四片TFT-LCD面板。在图一中，基板100可切割成110、120、130及140等四块尺寸较小的基板区域，因为受限于大型光罩的价格昂贵以及曝光机台的稼动率考虑，一般业界仅利用同一套光罩进行扫描式曝光，因此在上述四区域中利用光罩曝光形成的图案(Pattern)将完全相同，其图案可为如图一左上角放大显示的范例。在放大显示的区域110中，一般形成的图案可大致分为显示区域112(数组图案区域)及非显示区域114，亦有业者利用非显示区域114的位置形成辨识标记116，以提供譬如厂商、型号或其它等信息。

在上述设计中，基板区域110至140形成的四块「1/4」切裂基板具有相同的图案，亦即具有相同的辨识标记116，因此在切割后并无法分辨各个「1/4」切裂基板在原基板100上的分布位置。因此，当其中特定基板区域出现不良问题时，业者并无法有效追踪问题来源。

因此，在本发明的实施例中，在不增加硬件负担之下，仅利用同一套光罩进行扫描式曝光，即能在每个基板区域上皆产生不同的识别标记，提供先前技术中无法预期的功效。

发明内容

在本发明实施例的目的提供一种用以制造具有可辨识标记的基板的方法，包含：提供一基板；于所述基板上规划至少二基板区域；提供一光罩，所述光罩上四角落各包含预先形成的至少一光罩辨识标记，其中所述光罩的周边范围是大于所述基板的周边范围，且所述些光罩辨识标记包含至少二类型的光罩辨识标记；及利用所述光罩于所述至少二基板区域上分别执行曝光，以于所述至少二基板区域上形成对应至所述些光罩辨识标记的至少八基板辨识标记，并使所述至少八基板辨识标记中至少二基板辨识标记因重复曝光而消失，藉此，在所述至少二基板区域上分别形成有对应至所述至少二类型的光罩辨识标记的所述些基板辨识标记。

在本发明的较佳实施例中，所述些光罩辨识标记及所述些基板辨识标记包含文字、数字、符号或以上的组合。

在本发明的较佳实施例中，所述至少二基板区域可为直线排列或非直线排列。

在本发明的较佳实施例中，所述些光罩辨识标记于所述光罩上四角落可皆为相同、皆不相同或两两相同。

在本发明的较佳实施例中，所述基板可为薄膜晶体管(Thin-Film Transistor，TFT)基板、彩色滤光片(Color Filter，CF)基板或其它基板。

在本发明的较佳实施例中，更包含切割所述基板的步骤，使所述至少二基板区域分离。

关于本发明的详细实施例说明于下述实施方式，并配合图式说明，以俾利阅者可更加理解本发明的优点。

附图说明

【图式简单说明】

图1显示先前技术的切裂基板示意图；

图2A至H显示本发明实施例的切裂基板示意图；

图3A至E显示本发明实施例的切裂基板示意图；

图4A至E显示本发明实施例的切裂基板示意图；及

图5A至F显示本发明实施例的切裂基板示意图。

【主要组件符号说明】

100 基板

110、120、130、140 基板区域

112 显示区域

114 非显示区域

116 基板辨识标记

200 基板

210、220 基板区域

212 显示区域

214 非显示区域

222 显示区域

224 非显示区域

300 基板

310、320、330 基板区域

400 基板

410、420、430、440 基板区域

500 基板

510、520、530、540 基板区域

具体实施方式