[发明专利]溅镀装置

权利要求书

1.一种溅镀装置，包括：

溅镀室，其具有一个溅镀腔；

溅镀传动组件，其设置在该溅镀腔内，用于装载并传送待镀工件以进行溅镀，该溅镀传动组件包括：

第一主动齿轮；

第二主动齿轮，该第一主动齿轮和第二主动齿轮相邻设置；

传动轨道，其包括环绕第一主动齿轮设置的第一轨道、环绕第二主动齿轮设置的第二轨道以及连接在第一轨道与第二轨道之间的第一连接轨道，该第一轨道和第二轨道均为圆弧形，该第一连接轨道位于第一主动齿轮与第二主动齿轮之间；

传动带，该传动带设置于该传动轨道上且该传动带相对于该传动轨道可移动；

多个从动齿轮，该多个从动齿轮依次枢接于该传动带，每一从动齿轮均用于在第一主动齿轮的驱动下实现自转并随该传动带自该第一轨道传动至该第一连接轨道，自第一轨道传送至第一连接轨道，并在第一连接轨道处与该第一主动齿轮和该第二主动齿轮均啮合，又在第二主动齿轮的驱动下随该传动带自该第一连接轨道传送至该第二轨道，每一从动齿轮在第一轨道时与第一主动齿轮啮合，在第二轨道时与第二主动齿轮啮合；及

多个用于悬挂待镀工件的料杆，该多个料杆分别固定设置于多个从动齿轮；

第一靶材，用于向待镀工件表面溅镀第一镀层，该第一靶材设置于第一轨道的弧心；以及

第二靶材，用于向待镀工件表面溅镀第二镀层，该第二靶材设置于第二轨道的弧心。

2.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，该第一轨道与第二轨道的弧心角均大于90度。

3.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，该第一轨道的弧心与第一主动齿轮的中心重合，该第二轨道的弧心与第二主动齿轮的中心重合。

4.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，该传动带的总长度大于该第一轨道与第二轨道中曲率半径最大的圆弧形轨道对应的一个圆周的长度，且小于该第一轨道与第二轨道中曲率半径最小的圆弧形轨道对应的3/2个圆周的长度。

5.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，该第一轨道与第二轨道的曲率半径相等。

6.如权利要求1该的溅镀装置，其特征在于，该传动带上开设有多个固定孔，该多个从动齿轮分别可转动地设置于该多个固定孔中。

7.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，该多个从动齿轮中的每一从动齿轮上开设有一个固持孔，该多个料杆中的每一料杆分别固设于每一从动齿轮的固持孔。

8.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，该第一靶材具有第一靶面，该第二靶材具有第二靶面，该第二靶面3背向该第一靶面设置。

9.如权利要求1该的溅镀装置，其特征在于，该溅镀装置还包括第三主动齿轮以及第三靶材，该传动轨道还包括环绕第三主动齿轮设置的第三轨道以及连接第二轨道与第三轨道的第二连接轨道，该第三主动齿轮与第二主动齿轮相邻设置，该第二连接轨道位于第二主动齿轮与第三主动齿轮之间，该第三靶材设置于第三轨道的弧心并用于向待镀工件表面溅镀第三镀层。

10.如权利要求9所述的溅镀装置，其特征在于，该第三主动齿轮的中心与该第一主动齿轮的中心、第二主动齿轮的中心共线。