[发明专利]溅镀装置

说明书

技术领域

本发明涉及溅镀技术，特别涉及一种用于工件溅镀的溅镀装置。

背景技术

随着各种电子产品的飞速发展，消费群体对电子产品的要求越来越高，例如电子产品外观色彩、电磁屏蔽功能、防氧化腐蚀功能等等。因此，电子产品各零组件的溅镀处理技术显得越来越重要，镀层品质的好坏直接影响着电子产品上述各种性能的优劣。

并且，随着对镀层质量的要求不断提高，对一些较为重要的零组件，需要镀上两种或两种以上不同的镀层，以使得电子产品具有更优越的性能。目前，在需要溅镀多层镀层时，一般为先在一个溅镀装置中镀上第一镀层，然后再拿出来放到另一个溅镀装置中镀上第二镀层。然而，由于待镀工件在镀上第一镀层与第二镀层之间需要暴露在外界空气中，因此很可能造成第一镀层与第二镀层之间的结合力不佳，进而影响镀层质量及其性能，并且其溅镀效率相对较低。另外，对于待镀工件需要溅镀两种镀层的情形，目前的溅镀装置中，一般采用两种靶材对向设置进行溅镀，即在待镀工件的相对两侧分别设置有一种靶材，当需要镀第一镀层时使用一种靶材，而镀第二镀层时使用另一种靶材。但是，当使用其中一种靶材时，该使用中的靶材很可能溅射到另一种靶材上，使得靶材之间的相互污染并造成靶材中毒，从而使得溅镀过程不稳定，镀层的品质下降。

因此，有必要提供一种溅镀效率较高，可有效防止靶材中毒，从而有效提高镀层品质及性能的溅镀装置。

发明内容

下面将以具体实施例说明一种溅镀装置。

一种溅镀装置，包括溅镀室、溅镀传动组件、第一靶材和第二靶材。溅镀传动组件包括第一主动齿轮、第二主动齿轮、传动轨道、传动带、多个从动齿轮和多个料杆。第一主动齿轮和第二主动齿轮相邻设置。传动轨道包括环绕第一主动齿轮设置的第一轨道和环绕第二主动齿轮设置的第二轨道。传动带设置于传动轨道上且相对于传动轨道可移动。多个从动齿轮依次设置轴固于传动带，每一从动齿轮均用于在第一主动齿轮与第二主动齿轮的驱动下，在第一轨道传与第二轨道上传动。多个料杆分别设置于多个从动齿轮。第一靶材设置于第一轨道的弧心并用于向待镀工件表面溅镀第一镀层。第二靶材设置于第二轨道的弧心并用于向待镀工件表面溅镀第二镀层。

相对于现有技术，本技术方案的溅镀装置的多个料杆可悬挂待镀工件随从动齿轮自第一轨道至第二轨道移动并转动，从而设置在第一轨道弧心的第一靶材可向待镀工件表面溅镀第一镀层，设置在第二轨道弧心的第二靶材可向待镀工件表面溅镀第一镀层，使得待镀工件表面溅镀上不同镀层，两层镀层之间不需要重新进行抽真空处理，从而提高镀层之结合力和溅镀效率；同时，由于第一靶材设置于第一轨道的弧心，第二靶材设置于第二轨道的弧心，从而在溅镀时可有效避免第一靶材与第二靶材之间的相互污染而造成靶材中毒，使得溅镀过程更加稳定，提高镀层品质及性能。

附图说明

图1是本技术方案第一实施例提供的溅镀装置的示意图。

图2是图1的溅镀装置悬挂待镀工件在传送轨道的第一轨道溅镀第一镀层的示意图。

图3是图1的溅镀装置悬挂待镀工件在传送轨道的第二轨道溅镀第二镀层的示意图。

图4是本技术方案第二实施例提供的溅镀装置的示意图。

元件符号说明

具体实施方式

下面将结合附图和实施例对本技术方案的溅镀装置作进一步详细说明。

本技术方案第一实施例提供的溅镀装置100，包括溅镀室10、溅镀传动组件20、第一靶材31和第二靶材32。其中，溅镀室10具有一个溅镀腔12，溅镀传动组件20设置在溅镀腔12内。溅镀传动组件20用于装载并传送待镀工件150以进行溅镀。第一靶材31、第二靶材32用作溅射源。

具体地，请参阅图1-3，溅镀室10包括相对的顶壁(图未示)与底壁102，以及连接该顶壁与底壁102的侧壁104。溅镀腔12由顶壁、底壁102与侧壁104围合形成。本实施例中，侧壁104开设有与溅镀腔12相连通的进气管14和抽气管16。进气管14用于供溅镀所需的反应气体进入到溅镀腔12内。抽气管16用于对溅镀腔12进行抽真空处理。

溅镀传动组件20包括第一主动齿轮21、第二主动齿轮22、传动轨道23、传动带24、多个从动齿轮25以及多个料杆26。