[实用新型]用于放置在PECVD腔中的背板的夹钳机械装置

权利要求书

1.一种用于放置在等离子体增强化学气相沉积腔中的背板的夹钳机械装置，其特征在于，

上夹钳部分固定到腔盖内部；和

下夹钳部分与所述上夹钳部分以及所述背板滑动接触，其中所述下夹钳部分包括：

放置穿过所述下夹钳部分和所述腔盖的至少一个连接件，所述至少一个连接件包含调节部件，以及其中所述调节部件的旋转引起横向移动和对所述背板的压力。

2.根据权利要求1所述的夹钳机械装置，其特征在于，所述上夹钳部分和所述下夹钳部分由聚醚醚酮材料制成。

3.根据权利要求1所述的夹钳机械装置，其特征在于，第二连接件放置在所述上夹钳部分中。

4.根据权利要求3所述的夹钳机械装置，其特征在于，所述第二连接件为螺钉。

5.根据权利要求1所述的夹钳机械装置，其特征在于，所述至少一个连接件是螺栓。

6.根据权利要求5所述的夹钳机械装置，其特征在于，所述螺栓为艾伦头螺栓。

7.根据权利要求5所述的夹钳机械装置，其特征在于，所述螺栓为六角形头螺栓。

8.根据权利要求1所述的夹钳机械装置，其特征在于，所述调节部件为螺母。

9.根据权利要求8所述的夹钳机械装置，其特征在于，所述螺母是由不锈钢制成。

10.根据权利要求9所述的夹钳机械装置，其特征在于，所述螺母包括抗粘着/磨伤涂层，并且所述抗粘着/磨伤涂层由二硫化钨或商品名称为迪克罗尼特(dicronite)的物质制成。