[实用新型]多晶硅还原炉用硅芯夹持装置无效
申请号: | 200920002790.1 | 申请日: | 2009-03-13 |
公开(公告)号: | CN201372204Y | 公开(公告)日: | 2009-12-30 |
发明(设计)人: | 周积卫;程佳彪;郝振良;陈杰 | 申请(专利权)人: | 上海森和投资有限公司 |
主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03;C30B29/06 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人: | 赵 军 |
地址: | 201323上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 还原 炉用硅芯 夹持 装置 | ||
1、一种多晶硅还原炉用硅芯夹持装置,包括螺套(1),卡芯(2)和底座(3),其特征在于:
所述卡芯(2)整体呈橄榄形,中部为圆柱体,上下两端各带有一锥台,卡芯中心有一通孔(21),上下锥台各切割成等分的数个卡瓣(22);
所述螺套(1)为中空结构,螺套(1)腔体下端设有带螺纹的柱状孔;
所述底座(3)为圆柱体,其上部外侧壁带有螺纹,底座与螺套之间采用螺纹连接,底座(3)上下两端各设有凹槽;
组装时,卡芯(2)两端分别套设于螺套(1)和底座(3)内,螺套(1)腔体的上端形状与卡芯(2)上端锥台的形状相配合,底座(3)上端凹槽的形状与卡芯(2)下端锥台形状相配合。
2、根据权利要求1所述的多晶硅还原炉用硅芯夹持装置,其特征在于,所述卡芯(2)的上下两端锥台的切割槽相互错位。
3、根据权利要求1或2所述的多晶硅还原炉用硅芯夹持装置,其特征在于,所述卡芯(2)的上下锥台各切割成两个以上卡瓣(22)。
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