[实用新型]半导体废气处理槽的刮刀装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体废气处理槽的刮刀装置，特别是一种装置于废气管内的刮刀及其驱动装置的技术。

背景技术

先前技术中用于半导体光电产业净化废气的设备，主要以湿式洗涤塔为主，该湿式洗涤塔的种类，可概分为二类，其一是喷雾式洗涤塔，为最简单的湿式处理设备，其构造为一密闭结构体，该密闭结构体具有一进气端、一出气端及一排放口，且该密闭结构体内设有一个或多个喷嘴，洗涤液经该喷嘴雾化并喷出，且充满于该密闭结构体内，废气由该进气端进入该密闭结构体，并与雾化的洗涤液接触，使得废气中的粉尘、有毒物质或有害物质等被溶入该雾化的洗涤液中，进而将上述物质与废气分离并去除，之后经净化的气体由该出气端向外界排出，而结合废气中物质的污水或污泥由排放口排出另行处理。

其二是填充洗涤塔，该填充洗涤塔的构造为具一进气端、一出气端及一排放口的一密闭结构体，且该密闭结构体内设有一个或多个填充材料层，并将洗涤液注入充满该填充材料层，或以隔板取代该填充材料层，并将洗涤液喷洒或充满在该等隔板表面，当废气通过该湿润的填充材料层或该等隔板，因废气的运动方向受到填充材料层或隔板的阻挡而改变，使得废气中的粉尘、有毒物质或有害物质等等，因撞击而被该填充材料层或该等隔板所吸附，进而分离出污水或/及污泥与净化的气体，之后该净化的气体由该出气端向外界排出，而污水或污泥则由排放口排出另行处理。

中国台湾专利第M311470、395293、I244944及M275020号，揭露有数种洗涤塔结构相关的改良，但前案仅提及克服洗涤塔的洗涤液喷嘴阻塞，或如何收集废气处理过程中所产生的污泥，并未提及在废气进气端近处，因废气与空气中洗涤液结合所产生的结垢物及其因应之道。

上述各类型洗涤塔经长时间运转，在洗涤塔的废气进气端近处会产生结垢物，每隔一固定期间需停机令工作人员执行进气端结垢物清理与去除的工作，造成设备维护上的困扰及影响生产效率的隐忧，亟需加以改善。

此外，中国台湾专利第573011号揭露一种有机抗垢剂，该抗垢剂加入洗涤液中，经洗涤塔液的循环泵扩散至洗涤塔内，以防止或清除洗涤塔内产生的结垢物，惟，因不同制程所的废气不同，必须因此而调配不同的有机抗垢剂，且有机抗垢剂的制造过程有环保上的隐忧。

发明内容

为了克服上述先前技术的问题，本实用新型提供一种半导体废气处理槽的刮刀装置。

本实用新型的一种半导体废气处理槽的刮刀装置，设于该废气处理槽的一入气管内，且该入气管具一废气入口及一连通该废气处理槽的废气出口，该入气管内部形成相连通的一前管道及一后管道，前管道连通废气入口，后管道连通废气出口，其特征为：后管道内具一可受驱动往复位移的刮刀，以清除后管道内的附着物。

此外，本实用新型也包含：

所述入气管设于废气处理槽顶部，而使该后管道呈垂直状态。

所述入气管设于废气处理槽端侧，而使该后管道呈水平状态。

该半导体废气处理槽的刮刀装置还包括一驱动器，所述后管道内对应于废气出口的位置具一歧管，以容置该驱动器；所述驱动器为一气缸。

所述刮刀呈盘状或块状；所述刮刀上具至少一气孔。

据此，本实用新型利用该驱动器驱动刮刀装置往复位移于管道内，能将沾附于管道内的结垢物刮除，以达到清除管道内附着物的有益效果。

然而，为能明确且充分揭露本实用新型，并予列举较佳实施的图例，以详细说明其实施方式如后述。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；

图2为本实用新型较佳实施例的配置示意图；

图3为图2的一局部剖示图；

图4为图2的另一局部剖示图；

图5为本实用新型的盘状刮刀装置的立体图；

图6为本实用新型的块状刮刀装置的立体图；

图7为本实用新型刮刀的俯视图；

图8为本实用新型另一实施例的配置示意图。

附图标记说明：

1-入气管；11-废气入口；111-前管道；12-废气出口；121-后管道；13-驱动器；131-刮刀始点；132-刮刀终点；14、14a、14b-刮刀；141-气孔；2-废气处理槽。

具体实施方式