[实用新型]超高真空直线导入器有效
| 申请号： | 200920011032.6 | 申请日： | 2009-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN201404795Y | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 郭方准 | 申请（专利权）人： | 大连齐维科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B01J3/02 | 分类号： | B01J3/02;B01J3/03 |
| 代理公司： | 大连科技专利代理有限责任公司 | 代理人： | 于忠晶 |
| 地址： | 116023辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超高 真空 直线 导入 | ||
【权利要求书】：
1、超高真空直线导入器，涉及导入棒，其特征是：外管一端装有固定螺母，固定螺母与带有外螺纹的推动杆螺纹连接，推动杆另一端通过轴承与可动法兰连接，可动法兰焊接波纹管，波纹管内侧的可动法兰焊接导入棒，导入棒另一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内，波纹管另一端与真空设备连接法兰焊接，且真空设备连接法兰固定连接在外管的另一端。
2、根据权利要求1所述的超高真空直线导入器，其特征是：真空设备连接法兰中心孔内装有导入棒导向装置，导向装置为直线轴承或导向块。
3、根据权利要求1或2所述的超高真空直线导入器，其特征是：真空设备连接法兰由法兰盘、轴套和外管连接套一体构成，轴套一端连接法兰盘，另一端连接外管连接套，外管连接套端面带有波纹管连接槽。
4、根据权利要求1或2所述的超高真空直线导入器，其特征是：可动法兰带有波纹管连接端带有导入棒连接孔，与导入棒焊接固定，另一面为套体，套体内装有轴承与推动杆连接。
5、根据权利要求1或2所述的超高真空直线导入器，其特征是：固定螺母端外管上套装有旋套，旋套与推动杆固定连接，外管上带有刻度。
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