[实用新型]超高真空直线导入器

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空设备，特别是其配套的导入器。

背景技术

超高真空技术是新材料合成，材料的物理化学性质分析和宇宙开发的基本环境。为了实现在超高真空环境中的各种分析研究，离不开对样品的传输和操纵，样品在传输和操纵过程中，由于真空设备要求的密封性高，操纵都需要在大气侧进行，很多情况样品需要按直线运动导入，而且在驱动时要保证真空设备与驱动导入器的密封性能，以保证真空环境，目前的直线导入装置精度有待提高，而且均是刚性部件，密封性能差。

发明内容

本实用新型的目的是克服上述不足问题，提供一种超高真空直线导入器，直线驱动顺畅、自由，密封性能优异，定位简单，密封性佳。

本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案是：超高真空直线驱动器，涉及导入棒，外管一端装有固定螺母，固定螺母与带有外螺纹的推动杆螺纹连接，推动杆另一端通过轴承与可动法兰连接，可动法兰焊接波纹管，波纹管内侧的可动法兰焊接导入棒，导入棒另一端活动插接在真空设备连接法兰中心孔内，波纹管另一端与真空设备连接法兰焊接，且真空设备连接法兰固定连接在外管的另一端。

所述真空设备连接法兰中心孔内装有导入棒导向装置，导向装置为直线轴承或导向块等。

所述真空设备连接法兰由法兰板、轴套和外管连接套一体构成，轴套一端连接法兰板，另一端连接外管连接套，外管连接套端面带有波纹管连接槽。

所述可动法兰带有波纹管连接端，带有导入棒连接孔，与导入棒焊接固定，另一面为套体，套体内装有轴承与推动杆连接。

所述固定螺母端外管上套装有旋套，旋套与推动杆固定连接，外管上带有刻度。

本实用新型旋套式直线驱动，安装时角度自由，采用波纹管来实现密封，密封效果好，达到放出气体少的要求，而且波纹管压缩和伸展配合直线驱动自由，导入棒由导向装置导向，使得直线驱动顺畅，手动控制直线驱动，位置控制精确，和真空接触的部件，全部采用不锈钢和无氧铜，有利于维持超高真空，可耐高温烘烤，便于系统到达超高真空。本实用新型是实现超高真空环境中样品精确直线驱动的重要设备。

附图说明：

图1是本实用新型结构示意图。

图2是本实用新型固定法兰结构示意图。

图3是本实用新型真空设备连接法兰结构示意图。

图4是本实用新型可动法兰结构示意图。

图5是本实用新型可动法兰与导入棒连接示意图。

图中：1波纹管；2轴承；3推动杆；4固定螺母；5旋套；6可动法兰；7外管；8固定法兰；9直线轴承；10真空设备连接法兰；11导入棒；12法兰盘；13轴套；14外管连接套。

具体实施方式：

如图1所示的超高真空直线导入器，涉及导入棒，外管7一端装有固定螺母4，固定螺母与带有外螺纹的推动杆3螺纹连接，推动杆3另一端通过轴承2与可动法兰6套体连接，可动法兰6套体背面为波纹管连接端焊接波纹管1，波纹管1内侧的可动法兰焊接导入棒11，导入棒另一端活动插接在真空设备连接法兰10中心孔内，中心孔内装有直线轴承9，作为导入棒的导向装置，使直线运动更加顺畅，导向装置也可以采用导向块等，真空设备连接法兰10由法兰盘12、轴套13和外管连接套14一体构成，轴套一端连接法兰盘，另一端连接外管连接套，外管连接套端面带有波纹管连接槽，波纹管1另一端与真空设备连接法兰波纹管连接槽焊接，真空设备连接法兰10固定在外管7的另一端。固定螺母端外管外套装有旋套5，旋套5与推动杆3固定连接，外管上带有刻度，根据旋套的位置确定行程。

使用时，向右旋转旋套，推动杆随旋套旋转向前运动，通过可动法兰压缩波纹管，同时驱动可动法兰固定的导入棒运动，使导入棒向前推进；反之向左旋转旋套，推动杆向后运动，驱动可动法兰4向后运动，波纹管的弹力作用伸展，同时导入棒向后运动，使导入棒向后退回。