[实用新型]真空干燥箱过滤装置

权利要求书

1.真空干燥箱过滤装置，设置在真空泵与真空干燥箱之间用于过滤杂质，其特征在于：包括与所述真空泵串接的过滤器装置，所述过滤器装置的另一端连接所述真空干燥箱，所述过滤器装置上安装有放空阀。

2.如权利要求1所述的真空干燥箱过滤装置，其特征在于：所述过滤器装置包括与所述真空泵串接的第一过滤器，所述第一过滤器串接有第二过滤器，所述第二过滤器串接所述真空干燥箱，所述第一过滤器和/或第二过滤器上安装有放空阀。

3.如权利要求2所述的真空干燥箱过滤装置，其特征在于：所述第一过滤器包括第一瓶体，所述第一瓶体密闭，所述第一瓶体内部设有第一过滤装置，所述第一瓶体设有真空泵导气管，所述真空泵导气管的管口位于所述第一过滤装置的下方，所述第一瓶体的上侧部设有第一出气管，所述第一瓶体的底部设有第一排污阀。

4.如权利要求3所述的真空干燥箱过滤装置，其特征在于：所述第一过滤装置为固定安装在所述第一瓶体内部并将所述第一瓶体内腔分隔的过滤网。

5.如权利要求4所述的真空干燥箱过滤装置，其特征在于：所述过滤网至少为两层，所述过滤网之间放置有干燥剂和吸附剂。

6.如权利要求2所述的真空干燥箱过滤装置，其特征在于：所述第二过滤器包括第二瓶体，所述第二瓶体密闭，所述第二瓶体内部设有第二过滤装置，所述第二瓶体的顶部设有真空干燥箱进气管，所述第二瓶体的下侧部设有第二出气管，所述第二瓶体的底部设有第二排污阀。

7.如权利要求6所述的真空干燥箱过滤装置，其特征在于：所述第二过滤装置为固定安装在所述第二瓶体内部并将所述第二瓶体内腔分隔的过滤网。

8.如权利要求7所述的真空干燥箱过滤装置，其特征在于：所述过滤网至少为两层，所述过滤网之间放置有干燥剂和吸附剂。