[实用新型]单晶炉翻板箱的冷却结构无效
申请号: | 200920039686.X | 申请日: | 2009-04-20 |
公开(公告)号: | CN201395637Y | 公开(公告)日: | 2010-02-03 |
发明(设计)人: | 潘燕萍;潘国强 | 申请(专利权)人: | 潘燕萍;潘国强 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B35/00 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 | 代理人: | 何学成 |
地址: | 213129江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉翻板箱 冷却 结构 | ||
1、一种单晶炉翻板箱的冷却结构,其包括箱体内层、箱体外层、用来与 副工作室连接的上接口、用来与主工作室的炉盖连接的下接口和翻板阀门, 在箱体外层设置有真空口,其特征在于:在箱体内层和箱体外层之间设置有 水夹层,在箱体的外层设置有与水夹层相通的进水孔座和出水孔座。
2、根据权利要求1所述的一种单晶炉翻板箱的冷却结构,其特征在于: 所述的翻板阀门包括设置于箱体内部的翻板、设置在箱体外的摇臂装置、连 接翻板和摇臂装置的可以转动的翻板轴。
3、根据权利要求1所述的一种单晶炉翻板箱的冷却结构,其特征在于: 所述的进水孔座设置于箱体外层靠近下接口的位置。
4、根据权利要求1所述的一种单晶炉翻板箱的冷却结构,其特征在于: 所述的出水孔座设置于箱体外层靠近上接口的位置。
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