[实用新型]单晶炉翻板箱的冷却结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶硅炼制领域，特别是一种单晶炉翻板箱的冷却结构。

背景技术

单晶硅是具有基本完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导材料，用 于制造半导体器件、太阳能电池等。单晶硅是用高纯度的多晶硅在单晶炉内 拉制而成。硅片直径越大，技术要求越高，越有市场前景，价值也就越高。 因此，对单晶硅拉制装置及拉制工艺的改进将对半导体工业产生深远的影 响。现有的单晶硅拉制装置为单晶炉，它是由炉底、下炉室、上炉室、炉盖、 翻板箱、副室六大部分组成。现有的单晶炉翻板箱为采用单层的不锈钢材料 制成的，这样的翻板箱在拉制单晶的过程中温度过高，会将翻板箱烧坏，缩 短其使用寿命。

发明目的

本实用新型的目的是提供一种带有水夹层的双层结构的单晶炉翻板箱， 该单晶炉翻板箱具有很好的冷却系统，对单晶炉翻板箱起到很好的降温冷却 的保护作用。

实现本实用新型的技术方案如下：

单晶炉翻板箱的冷却结构，其包括箱体内层、箱体外层、用来与副工作室 连接的上接口、用来与主工作室的炉盖连接的下接口和翻板阀门，在箱体外层 的侧面设置有真空口，在箱体内层和箱体外层之间设置有水夹层，在箱体的外 层设置有与水夹层相通的进水孔座和出水孔座。

本实用新型的有益效果是设置水夹层以后，在拉制单晶的过程中从进水孔 座充入水，水通过进水孔座进入水夹层，水从出水孔座流出，对翻板箱进行冷 却，降低其温度，对翻板箱起到保护的作用。

附图说明

图1为本实用新型的剖面图；

图中1为上接口，2为翻板阀门，3为摇臂装置，4为出水孔座，5为 箱体内层，6为箱体外层，7为水夹层，8为翻板，9为翻板轴，10为真空 口，11为进水孔座，12为下接口。

具体实施方式

单晶炉翻板箱的冷却结构，其包括箱体内层5、箱体外层6、用来与副工作 室连接的上接口1、用来与主工作室的炉盖连接的下接口12和翻板阀门2，在 箱体外层6的侧面设置有真空口10，在箱体内层5和箱体外层6之间设置有水 夹层7，在箱体外层的侧面设置有进水孔座11，在箱体外层的上端面设置有出 水孔座4，进水孔座11和出水孔座4都是与水夹层7相通的。

所述的翻板阀门2包括设置于箱体内部的翻板8、设置在箱体外的摇臂装 置3、连接翻板8和摇臂装置3的可以转动的翻板轴9。翻板阀门2用来控制 主工作室与副工作室之间的打开与关闭。

单晶拉制主要是在主工作室进行，当拉制过程出现问题时，将晶体提升至 副工作室，关闭翻板阀门2，打开副工作室取出晶体，重新安装籽晶。将副工作 室复位后，开始对副工作室抽真空，待副工作室与主工作室真空平衡后，打开 翻板阀门2，籽晶放入主工作室，继续拉晶，直至完成。

在拉制单晶的过程中从进水孔座11充入水，水通过进水孔座11进入水夹 层7，水从出水孔座4流出，对翻板箱进行冷却，降低其温度，对单晶炉翻板箱 起到保护的作用。