[实用新型]半导体测试探针

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体测试器件，尤其是半导体测试探针。

背景技术

半导体测试探针用于半导体集成电路封装后的测试设备的插座。集成电路放置于插座中，半导体测试探针将集成电路无损伤地与测试设备相连接。

目前已有的半导体测试探针，有三种常用类型：双头探针、单头探针和外弹簧双头探针、

以上三种测试探针相比：

双头针制造成本较低，较易实现Pitch≤0.4mm的集成电路测试。但，电磁干扰大，寿命较低，维护成本较高。

外弹簧双头针，电磁干扰较小；对于高频信号的测试，性能更佳；寿命高，维护简单成本低。但制造制造工艺难度大，成本高；较难实现Pitch≤0.4mm的集成电路测试。

单头探针的优选点介于以上两种探针之间。

发明内容

本实用新型的目的之一是提供一种能降低电磁干扰、减低维护成本并且减少制造成本的半导体测试探针。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下结构：

它包括探针本体，其改进在于：所述探针本体上套装一弹簧，探针本体的探测端露出于弹簧外，所述弹簧包括探针本体套接部和探测设备固定端，所述探针本体套接部直径大于探针的探测端以及弹簧的探测设备固定端。

优选地，所述探针本体中部设有一弹簧定位部，所述弹簧定位部与弹簧的探针本体套接部的接触部顶端相接触。

优选地，所述弹簧的探针本体套接部的接触部与探针本体的接触部的直径小于弹簧的探针本体套接部而形成一收口结构；所述探针本体上对应收口结构处设有与该收口结构相配合实现弹簧与探针本体固定的凸台状的弹簧定位部。

本实用新型的半导体测试针，减少了探针自身的零件数目，使半导体测试探针由原来的3-4个零件组成，减少为两个零件组成。随着零件的减少，提高了探针使用的可靠性。减少了探针自身的电磁干扰，提高了探针的电性能带宽。而且如果使用本半导体测试探针，由于针尾部的特殊结构，我们可以将整个针模组放入超声波清洗机中清洗。粉尘、污渍可以从针尾部的细管孔流出。因此将大大减少维护的时间。

附图说明

图1是本实用新型实施例的分解结构示意图；

图2是本实用新型实施例的组装结构示意图；

图3是本实用新型实施例的组装结构截面图。

本实用新型目的、功能及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

如图1、图2和图3所示，本实用新型的第一实施例包括探针本体1，所述探针本体1上套装一弹簧2，探针本体1的探测端11露出于弹簧2外，所述弹簧2包括探针本体套接部21和探测设备固定端22，所述弹簧的探针本体套接部21直径大于探针的探测端11以及弹簧2的探测设备固定端22。

为了控制弹簧2在探针本体1上的位置，所述探针本体1中部设有一弹簧定位部12，所述弹簧定位部12与弹簧2的探针本体套接部21的接触处211的顶端相接触。

所述弹簧2的探针本体套接部21，其接触部211与探针本体1的凸台状套接处13配合。211的直径小于弹簧的探针本体套接部21与探针本体套接部13的直径，而形成一收口结构。

当弹簧2完全套接在探针本体1上后，即收口结构211顶住弹簧定位部12后；所述探针本体1上对应收口结构处设有与该收口结构相配合的实现弹簧2与探针本体1良好接触的凹台状探针本体的接触部16。

在凸台13下方设有立柱15，立柱15用于保持弹簧轴向的良好“压缩、伸展”的循环工作。提高弹簧寿命。

本实施例的半导体测试针，减少了探针自身的零件数目，使半导体测试探针由原来的3-4个零件组成，减少为两个零件组成。随着零件的减少，提高了探针使用的可靠性。减少了探针自身的电磁干扰，提高了探针的电性能带宽。

探针在使用时，需要安装在测试插座里面，被测试的集成电路，每测试一次，其管脚都会与弹簧探针接触一次；细微的焊料、脱模剂、金属氧化层、普通尘埃等等粉尘，就会被探针尖刮下。

常规的半导体测试针使用时，这些粉尘将进入到探针管内、或安装探针的孔内；他们将堵塞探针头部的运动，降低探针弹力，不但降低测试的良品率，也会加速探针的腐蚀。

因此，为了无损伤的彻底清洗测试插座。测试插座的使用者，经常要把插座拆开；把插座内的探针每一只都拆出来，放入到超声波清洗机中清洗。由于探针很细小，常见的有Φ0.58mm，细小的有Φ0.25mm，Φ0.15mm的；维护清洗时，每装拆一次都需要花费大量的时间。