[实用新型]旋转溅射电弧柱靶装置

权利要求书

1、旋转电弧柱靶装置，包括柱靶下盖、磁心磁钢、柱靶上盖、柱靶阴极、真空室顶板、柱靶固定法兰、阴极绝缘法兰、柱靶阴极法兰、阴极水套、水套绝缘法兰、安装于阴极水套上并与柱靶阴极内腔相通的出水口和位于柱靶阴极顶部的进水口，柱靶下盖、磁心磁钢、柱靶上盖、真空室顶板、柱靶固定法兰、阴极绝缘法兰、柱靶阴极法兰、阴极水套、水套绝缘法兰由下向上依次相连，其特征在于电机支架的中心截面为方形，电机支架下底面固定在柱靶阴极法兰上，上表面固定在水套绝缘法兰上，电机固定在电机支架上表面，电机支架上的电机通过齿轮与柱靶阴极顶端相连。

2、如权利要求1所述的旋转电弧柱靶装置，其特征在于在柱靶上盖与柱靶固定法兰之间设置屏蔽筒，屏蔽筒套于柱靶阴极外并固定在柱靶固定法兰上。

3、如权利要求1或2所述的旋转电弧柱靶装置，其特征在于在阴极绝缘法兰与柱靶固定法兰之间设有阴极密封胶圈。