[实用新型]掩模板夹持机构

权利要求书

1、一种掩模板夹持机构，其特征在于：包括机械手及推杆，其中所述机械手具有夹持所述掩模板的夹持区域，以及在该夹持区域前方两侧对称设置的凸台；而所述推杆设置在所述夹持区域后方中部，能够前后移动并配合所述凸台将掩模板固定在所述夹持区域内。

2、如权利要求1所述的掩模板夹持机构，其特征在于，所述凸台为长方体凸起结构。

3、如权利要求1所述的掩模板夹持机构，其特征在于，所述推杆前端具有缓冲垫。

4、如权利要求3所述的掩模板夹持机构，其特征在于，所述缓冲垫是软性塑胶材料。

5、如权利要求1所述的掩模板夹持机构，其特征在于，所述机械手上固定有一气缸，所述推杆后端与所述气缸连接，且在该气缸的作用下所述推杆能够在前后方向弹出及收回。

6、如权利要求5所述的掩模板夹持机构，其特征在于，所述气缸通过一气管接头连接至一气管。

7、如权利要求1所述的掩模板夹持机构，其特征在于，还包括设于所述推杆侧面的接近传感器。

8、如权利要求7所述的掩模板夹持机构，其特征在于，所述接近传感器是两个设于所述推杆两侧并在推杆的移动方向上相互错开的接近传感器。

9、如权利要求7或8所述的掩模板夹持机构，其特征在于，所述接近传感器安装在固定于所述机械手上的传感器支架上。

10、如权利要求7或8所述的掩模板夹持机构，其特征在于，所述推杆呈“T”字形结构，且该“T”字形结构较宽的一端到所述接近传感器的距离在接近传感器的检测距离内。