[实用新型]去光阻温度监测装置

权利要求书

1、去光阻温度监测装置，该装置包括温度监测器，其中，

所述温度监测器具有N路输入管脚，N为大于1的正整数，所述N路输入管脚与去光阻主机台的N个用于放置晶圆的托盘下方的温度传感器一一相连；

所述温度监测器具有与所述N路输入管脚一一对应、且在对应输入管脚接收到表示温度异常的温度信号时会被置为有效的N路输出管脚；

其特征在于，

每一路输出管脚还分别连接有一个用于在该路输出管脚有效时产生提示信号的提示部件，且每一路输出管脚所连接的提示部件产生的所述提示信号各不相同。

2、根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述提示部件为不同颜色和/或不同位置的发光二极管LED。

3、根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述提示部件为不同频率的蜂鸣器。

4、根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述输出管脚高电平有效，所述LED的输入端与所述输出管脚相连、输出端接地。

5、根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述输出管脚低电平有效，所述LED的输入端与所述输出管脚相连、输出端与电源正极相连。

6、根据权利要求1至5中任一项所述的装置，其特征在于，所述N为6。

7、根据权利要求1至5中任一项所述的装置，其特征在于，该装置进一步包括：与所述N路输出管脚相连、并在任一路输出管脚有效时产生报警信号的报警器。