[实用新型]去光阻温度监测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造领域，特别涉及一种去光阻温度监测装置。

背景技术

由于电子设备的广泛应用，集成电路的制造工艺得到了飞速的发展，集成电路的制造流程涉及涂覆光阻、曝光、显影、蚀刻、去光阻等一系列操作。其中，去光阻这一操作会使用到一种具有多个托盘的去光阻主机台，将旋涂有光阻的晶圆放置在托盘上即可由去光阻主机台来实现去光阻；而且，在去光阻的过程中，需要将每个晶圆的温度控制在一定的范围内。

由此，上述去光阻主机台通常还配有一去光阻温度监测装置，以便检测每个晶圆周围的温度是否超出了预定的范围、并在超出时报警。

图1为现有技术中去光阻温度监测装置的结构示意图。如图1所示，以去光阻主机台具有N个托盘101、每个托盘101下方分别置有一个温度传感器102为例，去光阻温度监测装置103包括具有N路输入管脚104和N路输出管脚106的温度监测器105、以及与温度监测器105的N路输出管脚106相连的报警器107。其中，N为大于1的正整数，温度监测器105的N路输入管脚104与N个温度传感器102一一相连，且N路输入管脚104与N路输出管脚106一一对应。

需要说明的是，上述的N路输入管脚104与N个温度传感器102一一相连，是指每一路输入管脚104与一个温度传感器102相连，且每一路输入管脚104所连接的温度传感器102与其他输入管脚104均不相同；上述的N路输入管脚104与N路输出管脚106一一对应，是指每一路输入管脚104与一个输出管脚106相对应，且每一路输入管脚104所对应的输出管脚106与其他输入管脚104均不相同。

这样，每个温度传感器102获取其所在托盘101的温度，即等效于放置于该托盘101的晶圆的温度，并将获取的晶圆的温度传送给温度监测器105中与该温度传感器102相连的一路输入管脚104；温度监测器105判断通过N路输入管脚104输入的温度是否在正常范围内，当任一路输入的温度不在正常范围内时，将与该路输入管脚104对应的输出管脚106置为有效，报警器107检测到任一输出管脚106有效时立刻产生报警信号以实现报警。

可见，虽然当任一晶圆的温度出现异常时，现有温度监测装置中的报警器均可进行报警，但是现有温度监测装置并未明确指示究竟是哪一个或者哪几个晶圆的温度出现异常，从而无法针对出现异常的晶圆的温度进行实时地调整。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种去光阻温度监测装置，能够明确指示出温度异常的晶圆。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案具体是这样实现的：

去光阻温度监测装置，该装置包括温度监测器，其中，

所述温度监测器具有N路输入管脚，N为正整数，所述N路输入管脚与去光阻主机台的N个用于放置晶圆的托盘下方的温度传感器一一相连；

所述温度监测器具有与所述N路输入管脚一一对应、且在对应输入管脚接收到表示温度异常的温度信号时会被置为有效的N路输出管脚；

每一路输出管脚还分别连接有一个用于在该路输出管脚有效时产生提示信号的提示部件，且每一路输出管脚所连接的提示部件产生的所述提示信号各不相同。

所述提示部为不同颜色和/或不同位置的发光二极管LED。

所述提示部件为不同频率的蜂鸣器。

所述输出管脚高电平有效，所述LED的输入端与所述输出管脚相连、输出端接地。

所述输出管脚低电平有效，所述LED的输入端与所述输出管脚相连、输出端与电源正极相连。

所述N为6。

该装置进一步包括：与所述N路输出管脚相连、并在任一路输出管脚有效时产生报警信号的报警器。

由上述的技术方案可见，本实用新型所提供的去光阻温度监测装置中，温度监测器的每一路输出管脚分别连接有一个提示部件，当任一晶圆的温度不在正常范围内时，温度监测器会将对应的输出管脚置为有效，从而能够使得与对应的输出管脚相连的提示部件产生提示信号，以明确指示出温度异常的晶圆，进而便于针对出现异常的晶圆的温度进行实时地调整。

附图说明

图1为现有技术中去光阻温度监测装置的结构示意图；

图2为本实用新型所提供的去光阻温度监测装置的结构示意图；

图3为本实用新型中提示部件的第一较佳实施例的示意图；

图4为本实用新型中提示部件的第二较佳实施例的示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施例，对本实用新型进一步详细说明。