[实用新型]硅片机械手

权利要求书

1.一种硅片机械手，包括驱动机构、传动机构和机械手爪，所述驱动机构经传动机构带动机械手爪取放硅片，其特征在于：所述传动机构与机械手爪通过簧片连接，且所述簧片的刚度比所述硅片小。

2.如权利要求1所述的硅片机械手，其特征在于：所述硅片机械手为接片机械手，所述传动机构包括一滑动导轨、一滑块和一与驱动机构输出部固连的连接块，所述连接块与所述滑块固定连接，所述滑块与所述滑动导轨相配合，所述连接块上固设有若干簧片，所述机械手爪通过所述簧片固定于所述连接块上。

3.如权利要求2所述的硅片机械手，其特征在于：所述驱动机构包括一固设于一基座板的音圈电机，所述音圈电机的线圈部分包括固设于所述基座板上的定子和作为输出部的磁铁动子，所述磁铁动子与所述连接块固定连接。

4.如权利要求3所述的硅片机械手，其特征在于：所述基座板上设有若干用于限定驱动机构输出部最低位置的下止动块。

5.如权利要求3所述的硅片机械手，其特征在于：所述连接块的形状与滑块与机械手爪个数相对应。

6.如权利要求5所述的硅片机械手，其特征在于：所述连接块由一连接杆和两平行板连接组成，呈“工”字型，所述连接块的平行板的上方和下方分别设有一簧片，所述两簧片的两端分别与一机械手爪固定连接，所述每一簧片的中部与平行板的中部固定连接，所述簧片的两边与平行板之间留有用于簧片变形的间隙。

7.如权利要求1所述的硅片机械手，其特征在于：所述硅片机械手为取片机械手，所述驱动机构为音圈电机，所述传动机构为一连接块，所述机械手爪为一吸附块，所述音圈电机的输出部与所述连接块固定连接，所述吸附块通过簧片连接于连接块的下方。