[实用新型]硅片机械手

说明书

技术领域

本实用新型属光刻设备领域，尤其涉及一种用于取放硅片的硅片机械手。

背景技术

传统的用于接片的机械手，如图6所示，由直流电机603驱动凸轮604运动，带动滑块605上下滑动。而机械手爪601直接固定在滑块上，跟随滑块上下运动。图中，602为电机固定架，606为导轨。其具有如下问题：在硅片接放过程中，真空始终开启，接片机械手上升到接片位时，由于接片机械手的刚度大于硅片刚度，真空吸附力会造成硅片中间凸起变形。另外，在圆形硅片接近吸盘时，吸盘的真空吸附力大于接片机械手的真空吸附力，并且圆形吸盘上的真空腔径向均匀分布，因此在吸盘和接片机械手交接硅片时会对接片机械手及其驱动电机有冲击力，同时会引起硅片窜动。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种硅片机械手，在抓取或者吸附硅片时具有一定的缓冲作用，可防止所抓取的硅片的变形和窜动，并能避免对电机的冲击。

为解决上述技术问题，本实用新型采用了如下技术方案：

一种硅片机械手，包括驱动机构、传动机构和机械手爪，所述驱动机构经传动机构带动机械手爪取放硅片，所述传动机构与机械手爪通过簧片连接，且所述簧片的刚度比所述硅片小。

所述硅片机械手为接片机械手，所述传动机构包括一滑动导轨、一滑块和一与驱动机构输出部固连的连接块，所述连接块与所述滑块固定连接，所述滑块与所述滑动导轨相配合，所述连接块上固设有若干簧片，所述机械手爪通过所述簧片固定于所述连接块上。

所述驱动机构包括一固设于一基座板的音圈电机，所述音圈电机的线圈部分包括固设于所述基座板上的定子和作为输出部的磁铁动子，所述磁铁动子与所述连接块固定连接。

所述基座板上设有若干用于限定驱动机构输出部最低位置的下止动块。

所述连接块的形状与滑块与机械手爪个数相对应。

所述连接块由一连接杆和两平行板连接组成，呈“工”字型，所述连接块的平行板的上方和下方分别设有一簧片，所述两簧片的两端分别与一机械手爪固定连接，所述每一簧片的中部与平行板的中部固定连接，所述簧片的两边与平行板之间留有用于簧片变形的间隙。

所述硅片机械手为取片机械手，所述驱动机构为音圈电机，所述传动机构为一连接块，所述机械手爪为一吸附块，所述音圈电机的输出部与所述连接块固定连接，所述吸附块通过簧片连接于连接块的下方。

本实用新型的有益效果：

由于机械手爪通过簧片与由驱动机构带动的连接块连接，所以硅片机械手的垂向解耦能在抓取或者吸附硅片时对硅片具有一定的缓冲作用，可防止所抓取的硅片的变形和窜动。同时，可以缓冲对驱动电机如音圈电机所造成的冲击，以延长驱动电机使用寿命。

本实用新型的硅片机械手的这种由簧片构成的自我调节结构在一定程度上降低了结构上零部件的加工要求和装配精度要求，降低生产成本，提高生产率。

附图说明

图1a是硅片机械手应用于曝光台中的结构示意图(实施例1即接片机械手)；

图1b是图1a的剖视图；

图2a是硅片机械手的示意图(实施例1即接片机械手)；

图2b是图2a的A-A剖视图；

图2c是图2b的虚框部放大图；

图3是传输机械手与接片机械手交换硅片时的结构示意图；

图4是硅片机械手的结构示意图(实施例2即取片机械手)；

图5为传统的硅片机械手的结构示意图(接片机械手)

图中：101接片机械手；102重力补偿器；103调平调焦板；104X向微动电机；105Y向微动电机；106吸盘；107支撑板；108气足；109调焦调平板；201基座板；202音圈电机；203机械手爪；204簧片；205滑动导轨；206连接块；207下止动块；301微动台；302硅片；303硅片台Y向长行程模块；304硅片台X向长行程模块；305硅片传输机械手；306取片机械手；307硅片盒；501吸附块；502簧片；503音圈电机连接块；504音圈电机；505连接块。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作清楚、完整地说明：

针对背景技术提及的问题，本实用新型提出一种硅片机械手，包括驱动机构、传动机构和机械手爪，所述驱动机构经传动机构带动机械手爪取放硅片，所述传动机构与机械手爪通过簧片连接，且所述簧片的刚度比所述硅片小。机械手爪通过簧片与传动机构连接，这种结构可以在机械手爪抓取或吸附硅片时提供缓冲力，以防止所抓取或吸附的硅片产生变形和串动，同时也可以避免对驱动机构如音圈电机的冲击，以延长其使用寿命。