[实用新型]掩模盒有效

专利信息
申请号: 200920073141.0 申请日: 2009-05-31
公开(公告)号: CN201540453U 公开(公告)日: 2010-08-04
发明(设计)人: 左仲;王明珠;许俊;赵庆国 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G03F1/00 分类号: G03F1/00
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 楼仙英
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 掩模盒
【权利要求书】:

1.一种掩模盒,其具有方形盒身以及盒盖,所述盒身与盒盖可以闭合以及开启,以便取放以及存储掩膜,在所述盒身与盒盖的内侧边沿布置有多个支持装置,用于支持放置于掩膜盒中的掩膜,其特征在于,所述支持装置具有凸起的弧形支持面,该弧形支持面的一端连接所述盒身或盒盖的侧壁,另一端连接盒盖的顶面或者盒身的底面,构成向盒内部空间凸起的弧形支持面。

2.根据权利要求1所述的掩模盒,其特征在于所述弧形支持面与盒身底面或盒盖顶面的接合部具有台阶状的凸出结构。

3.根据权利要求1或2所述的掩模盒,其特征在于所述具有凸起的弧形支持面的支持装置是允许弹性形变的弹性结构。

4.根据权利要求3所述的掩膜盒,其特征在于,所述弹性结构与盒身或盒盖一体成型。

5.根据权利要求1所述的掩模盒,其特征在于,所述的盒身或盒盖具有至少3个所述支持装置。

6.根据权利要求1所述的掩膜盒,其特征在于,所述的盒身或盒盖具有4个所述支持装置。

7.如权利要求6所述的掩模盒,其特征在于,所述4个支持装置两两对称地分布在所述盒身内侧的边沿上,其中2个支持装置等距地分布在盒身一个内角的两个侧边上,另2个支持装置对应地分布于和所述内角相对的内角的两个侧边上。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200920073141.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top