[实用新型]半导体元件独立测试机台及测试分类系统

权利要求书

1.一种半导体元件独立测试机台，用于测试复数分别容置于一个承载装置之复数对应容置槽中的半导体元件，其特征是，该测试机台包含基座、搬移测试装置和处理装置，其中：

该基座形成有入料位置和出料位置，入料位置用于置放容置有待测半导体元件的承载装置，出料位置用于置放容置有完测之半导体元件的承载装置；

该搬移测试装置具有至少一个测试位置，用于将待测半导体元件移至该测试位置进行测试，并将完测半导体元件移出该测试位置；

该处理装置用于接收该搬移测试装置的测试结果，并将该测试结果与受测半导体元件在承载装置的容置槽位置共同记录并输出。

2.根据权利要求1所述的独立测试机台，其特征是，该承载装置具有一个辨识标记。

3.根据权利要求1所述的独立测试机台，其特征是，该搬移测试装置包括机械臂和测试端口，机械臂从承载装置的容置槽中汲取待测半导体元件并置放至该测试位置，并从测试位置将完测半导体元件置放回相同的容置槽中，测试端口用以测试位于测试位置的待测半导体元件。

4.根据权利要求3所述的独立测试机台，其特征是，该机械臂具有复数用于分别吸取待测半导体元件的吸嘴，且上述测试端口具有数目对应于吸嘴数目的测试单元。

5.根据权利要求1所述的独立测试机台，其特征是，该搬移测试装置包括搬移器和测试头，搬移器用以将该承载装置从入料位置移动至测试位置，再从测试位置移动至出料位置，测试头用以批次测试容纳于承载装置中的半导体元件。

6.根据权利要求5所述的独立测试机台，其特征是，待测半导体元件以接点向上方式被容纳于容置槽中，且测试头被设置于下压臂下方。

7.根据权利要求1-6任何一项所述的独立测试机台，其特征是，更包含一组屏蔽该至少一个测试位置，使该测试位置与外部电磁隔绝的屏蔽装置。

8.一种半导体元件测试分类系统，用于测试复数分别容置于至少一个承载装置之复数对应容置槽中的半导体元件并加以分类，其特征是，该系统包含复数组权利要求2-7中任何一项所述的半导体组件独立测试机台及至少一台分类机台，且分类机台的数目少于独立测试机台，该分类机台包括基部、置换装置和驱动装置，其中：

该基部形成有接收位置和备料位置，接收位置接收来自独立测试机台的承载装置，备料位置置放有复数用于置换的合格半导体元件；

该驱动装置接收来自独立测试机台处理装置输出讯号，并依照输出讯号驱动置换装置，将承载装置中测试不合格的完测半导体元件与备料位置的合格半导体元件相互置换，使承载装置的容置槽中所容纳的均为合格的完测半导体元件。

9.根据权利要求8所述的测试分类系统，其特征是，更包含一组供将承载装置由独立测试机台的出料位置移动至分类机台的该接收位置的移载装置。

10.根据权利要求8所述的测试分类系统，其特征是，该分类机台包括一组用于读取承载装置之辨识标记并输出讯号至驱动装置之读取装置；上述驱动装置同时接收来自该读取装置的讯号。

11.根据权利要求10所述的测试分类系统，其特征是，该辨识标记为条形码，且该读取装置为条形码读取器。