[实用新型]一种用于等离子封接陶瓷金卤灯的陶瓷炉装置

权利要求书

1.用于等离子封接陶瓷金卤灯的陶瓷炉装置，其特征在于，包括：

一陶瓷炉、一抽充系统、一控制系统，其中：

所述抽充系统安装于陶瓷炉上并与控制系统相连接，用于给陶瓷金卤灯抽真空和充氙气；

所述控制系统连接于陶瓷炉，用于控制陶瓷炉及抽充系统。

2.根据权利要求1所述的用于等离子封接陶瓷金卤灯的陶瓷炉装置，其特征在于，

所述陶瓷炉包括：

机台框架，

安装座及下冷却器，安装于所述机台框架的顶部；

上冷却器，安装于所述上炉体上；

上炉体，安装于所述安装座及下冷却器上；

等离子火头组件，安装于所述上炉体上；

下炉盖，安装于所述机台框架的底部，并由所述气缸带动；

气缸，安装于所述机台框架，使下炉盖升降；

火嘴，安装于所述等离子火头组件上。

3.根据权利要求2所述的用于等离子封接陶瓷金卤灯的陶瓷炉装置，其特征在于，所述上炉体的材质为钼材料，所述下炉盖的材质为不锈钢的，所述火嘴材质为铜质。

4.根据权利要求1所述的用于等离子封接陶瓷金卤灯的陶瓷炉装置，其特征在于，

所述抽充系统包括：依次连接的前级干泵、隔断阀、分子泵，

检测粗真空的传感器低规和检测高真空的传感器高规连接到所述分子泵和挡板阀之间，挡板阀位于所述分子泵与陶瓷炉之间；

还包括：

充气系统，包括：

氩气罐内气体压力可控的供气系统，包括：冲洗气体氩气罐、出口阀、入口阀和氩气压力检测传感器，

氙气罐内气体压力可控的供气系统，包括：充入气体氙气罐、出口阀、入口阀和氙气压力检测传感器。

5.根据权利要求1所述的用于等离子封接陶瓷金卤灯的陶瓷炉装置，其特征在于，所述控制系统包括：电气连接的可编程控制系统、触摸屏和等离子电源系统。