[实用新型]一种单晶硅生产设备的真空装置无效
| 申请号： | 200920101827.6 | 申请日： | 2009-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN201363251Y | 公开（公告）日： | 2009-12-16 |
| 发明（设计）人： | 崔鹏 | 申请（专利权）人： | 宁晋松宫电子材料有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14 |
| 代理公司： | 石家庄科诚专利事务所 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 055550河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 生产 设备 真空 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种单晶硅生产设备的真空装置，主要用于对单晶硅拉制炉(1)进行真空抽取，包括大罐(2)、与大罐(2)连通的真空管(3)及与大罐(2)相连的真空泵(7)，真空管(3)通过球阀(4)与单晶硅拉制炉(1)真空抽取管路(5)相连，其特征在于：在真空管(3)上密封固连有放气阀(6)。
2、根据权利要求1所述的单晶硅生产设备的真空装置，其特征在于：真空管(3)上设有定位孔，所述的放气阀(6)固定插装于定位孔内。
3、根据权利要求1或2所述的单晶硅生产设备的真空装置，其特征在于：所述的放气阀(6)与真空管(3)垂直连接。
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