[实用新型]一种单晶硅生产设备的真空装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空抽取装置，尤其是对单晶硅生产设备进行真空抽取得真空装置。

背景技术

目前，在单晶硅生产过程中，一般涉及单晶硅生产设备(单晶硅拉制炉)及对生产设备进行真空抽取的真空装置两部分，其中，生产设备置于上层车间，真空抽取装置置于下层车间，真空抽取装置一般包括大罐、与大罐连通的真空管及真空泵组成，真空管与单晶硅生产设备通过球阀进行连接。在对大罐进行清理时，要在上层车间打开球阀进行放气，使大罐内部压力由真空状态达到常压，因为球阀的直径较大，打开后大罐里的挥发物会随气流从球阀飘出，污染热系统，影响车间的环境卫生，给正常生产带来不利影响，其次，打开大罐后还要从车间的下层到上层关闭球阀，耽误时间，降低了生产效率，使用极为不便。

实用新型内容

为解决现有技术中存在的不足，本实用新型提供了一种能够减少挥发物对环境的影响、有效地提高工作效率且结构简单、使用方便的单晶硅生产设备的真空装置。

为实现上述目的，本实用新型的单晶硅生产设备的真空装置，主要用于对单晶硅拉制炉进行真空抽取，包括大罐、与大罐连通的真空管及与大罐相连的真空泵，真空管通过球阀与单晶硅拉制炉真空抽取管路相连，在真空管上密封固连有放气阀。

真空管上设有定位孔，所述的放气阀固定插装于定位孔内。

作为上述方式的改进，所述的放气阀与真空管垂直连接。

采用上述技术方案，在对大罐进行清理时，由于在真空管上加设放气阀，只需打开放气阀，由于放气阀与真空管成角度密封设置，使得在向大罐冲压过程中，减少了大罐内的挥发物挥发，减少了环境污染；该放气阀可置于下层车间，只需在下层车间打开放气阀即可完成对大罐的清理，避免了人工上下层之间的跑动，在提高工作效率的同时，避免人为忘记关阀给生产带来的影响。

附图说明

下面结合附图及具体的实施方式对本实用新型做更进一步详细说明：

图1是本实用新型的整体连接结构示意图；

具体实施方式

由图1所示可知，该单晶硅生产设备的真空装置，包括大罐2、与大罐2连通的真空管3及与大罐2相连的真空泵7，真空管3通过球阀4与置于上层车间的单晶硅拉制炉1真空抽取管路5相连，真空管3上设有定位孔，放气阀6固定插装于定位孔内。放气阀6与真空管3垂直连接。