[实用新型]掩模板清洁装置有效
申请号: | 200920106014.6 | 申请日: | 2009-02-27 |
公开(公告)号: | CN201359680Y | 公开(公告)日: | 2009-12-09 |
发明(设计)人: | 冯京;汪荣 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F1/00 | 分类号: | G03F1/00 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 刘 芳 |
地址: | 100176北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 模板 清洁 装置 | ||
1、一种掩模板清洁装置,其特征在于,包括:放置掩模板的清洁台,所述清洁台的上方设置有吹气装置,所述吹气装置连接有进气管和驱动所述吹气装置水平移动的驱动装置。
2、根据权利要求1所述的掩模板清洁装置,其特征在于,所述驱动装置包括至少一个螺纹旋杆,所述螺纹旋杆连接有驱动所述吹气装置从所述螺纹旋杆的一端向另一端移动的电机。
3、根据权利要求1所述的掩模板清洁装置,其特征在于,还包括:封闭所述清洁台、所述吹气装置和所述驱动装置的外壳,所述外壳扣设于所述清洁台上,所述外壳上设有供所述进气管穿过的通气孔和排放清洁后气体的排气口。
4、根据权利要求3所述的掩模板清洁装置,其特征在于,所述外壳还连接有分离所述外壳与所述清洁台的升降装置。
5、根据权利要求4所述的掩模板清洁装置,其特征在于,所述升降装置包括横梁,所述横梁的两端连接有两个臂形连接件,所述两个臂形连接件分别与所述外壳的两端连接。
6、根据权利要求5所述的掩模板清洁装置,其特征在于,所述外壳的两端还分别设置有与所述臂形连接件卡合的凹槽。
7、根据权利要求1至6任一所述的掩模板清洁装置,其特征在于,所述吹气装置为气枪。
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