[实用新型]基板搬运机器人设备

权利要求书

1、一种基板搬运机器人设备，其特征在于，包括滑设在第一滑轨上的第一手臂和第二手臂，所述第一手臂和第二手臂的第二滑轨上分别滑设有支撑柱，所述第一手臂和第二手臂之间设置有用于调整第一手臂和第二手臂之间距离的第一调整装置。

2、根据权利要求1所述的基板搬运机器人设备，其特征在于，所述第一手臂和第二手臂上分别设置有用于调整所述支撑柱位置的第二调整装置。

3、根据权利要求1所述的基板搬运机器人设备，其特征在于，所述第一调整装置包括第一丝杆和套设在所述第一丝杆上的第一丝杆螺母；所述第一丝杆的一端滑设在丝杆座上，所述丝杆座固设在所述第二手臂上；所述第一丝杆的另一端连接有用于驱动所述第一丝杆转动的电机；所述第一丝杆螺母固设在所述第一手臂上，所述第一丝杆螺母在所述第一丝杆转动时带动所述第一手臂移动。

4、根据权利要求3所述的基板搬运机器人设备，其特征在于，所述第一调整装置还包括套设在所述第一丝杆上的第二丝杆螺母；所述第二丝杆螺母固设在所述第二手臂上，所述第一丝杆螺母和第二丝杆螺母内孔表面的螺纹方向相反，所述第一丝杆螺母和第二丝杆螺母在所述第一丝杆转动时分别带动所述第一手臂和第二手臂移动。

5、根据权利要求2所述的基板搬运机器人设备，其特征在于，所述第二调整装置包括第二丝杆和套设在所述第二丝杆上的支撑柱丝杆螺母；所述第二丝杆的一端连接有用于驱动所述第二丝杆转动的电机，所述支撑柱丝杆螺母固设在所述支撑柱上，所述支撑柱丝杆螺母在所述第二丝杆转动时带动所述支撑柱移动。

6、根据权利要求3或5所述的基板搬运机器人设备，其特征在于，所述电机为伺服电机。

7、根据权利要求1-5任一所述的基板搬运机器人设备，其特征在于，所述第一手臂或第二手臂上设置有用于感应所述第一手臂和第二手臂之间距离的感应传感器，所述感应传感器与用于控制所述电机工作的控制器连接。