[实用新型]一种可调节多点浮动键合电极有效
| 申请号： | 200920108414.0 | 申请日： | 2009-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN201397809Y | 公开（公告）日： | 2010-02-03 |
| 发明（设计）人： | 薛志杰;李刚;梁聚宝;林红;林平 | 申请（专利权）人： | 北京金盛微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京东方汇众知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人： | 朱元萍 |
| 地址： | 100193北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 调节 多点 浮动 电极 | ||
【权利要求书】：
1、一种可调节多点浮动键合电极，包括基座、台面、升降机构、上夹板、电极，其特征在于：
电极固定套为圆柱形，以过盈配合固定在上夹板上；
电极导向连接杆为阶梯圆柱形，穿套在电极固定套内，电极导向连接杆与电极固定套之间设置弹簧，电极导向连接杆上端通过螺母压在电极固定套上端面，电极导向连接杆上端螺母与电极固定套结合面具有对应的限位槽和限位凸起。
2、根据权利要求1所述的一种可调节多点浮动键合电极，其特征在于：电极导向连接杆上端螺母的下端面具有限位凸起，电极固定套上端面具有对应的限位槽。
3、根据权利要求1所述的一种可调节多点浮动键合电极，其特征在于：上夹板上具有多个电极固定套和相应的电极导向连接杆。
4、根据权利要求3所述的一种可调节多点浮动键合电极，其特征在于：上夹板上的多个电极固定套按照圆形平面均布。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
