[实用新型]一种可调节多点浮动键合电极

说明书

技术领域

本实用新型涉及微电子技术领域，特别是一种制造微电子器件的设备——静电键合用的电极。

背景技术

静电键合又称为阳极键合，是利用直流电场产生静电力使待键合面紧密接触，同时施以高温，使紧密接触的表面发生化学反应，形成高强度的化学键。在现有技术中，大多数静电键合设备只能键合一种规格样片，只满足定型产品的生产，对于科研单位需要小批量或者更换不同规格的样片则无能为力。如何使一台静电键合设备能够灵活的得到高效率的使用，经简单调整能够键合多种规格的样片，满足研究单位多样性要求，又能够满足成型产品生产需要成为技术上亟需要克服的问题。

实用新型内容

为了解决现有技术存在的技术缺陷，本实用新型的目的在于提供一种可调节多点浮动键合电极，它能够在生产单一规格样片中使用，也能够满足多规格、多样性的要求。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种可调节多点浮动键合电极，包括基座、台面、升降机构、上夹板、电极，其中：电极固定套为圆柱形，以过盈配合固定在上夹板上；电极导向连接杆为阶梯圆柱形，穿套在电极固定套内，电极导向连接杆与电极固定套之间设置弹簧，电极导向连接杆上端通过螺母压在电极固定套上端面，电极导向连接杆上端螺母与电极固定套结合面具有对应的限位槽和限位凸起。

电极导向连接杆上端螺母的下端面具有限位凸起，电极固定套上端面具有对应的限位槽。

上夹板上具有多个电极固定套和相应的电极导向连接杆。

上夹板上的多个电极固定套按照圆形平面均布。

由于采用上述方案后，本实用新型在使用过程中，能够根据所要键合样片尺寸大小调节多点键合电极数量，形成单点电极键合或多点电极键合。只要轻轻提起电极导向杆，旋转90°，就可以使电极导向连接杆上端螺母下端面具有的限位凸起与电极固定套上端面对应的限位槽脱离或者结合，使电极抬起或者落下，来改变参加键合的电极数量和位置，一适应不同规格的样片。采取简单的手动调节方式，灵活方便。可键合4时、3时、2时、1时样片及各种规格散片。使一台静电键合设备能够灵活的得到高效率的使用，满足研究单位多样性要求，又能够满足成型产品生产需要，一机多用，经济适用。

附图说明

图1为本实用新型一种可调节多点浮动键合电极主视图；

图2为本实用新型一种可调节多点浮动键合电极中电极提起状态示意图；

图3为本实用新型一种可调节多点浮动键合电极的电极部分剖视图；

图4为本实用新型一种可调节多点浮动键合电极图3的A-A视图；

图5为本实用新型一种可调节多点浮动键合电极图1的俯视图。

附图中标号：

1.上夹板，2.电极固定套，3.电极导向连接杆，4.电极，5.下位电极，6.提起电极，7.台面，8.升降机构，9.基座，10.限位槽，11.弹簧，12.螺母。

具体实施方式

下面结合说明书附图对本实用新型一种可调节多点浮动键合电极的具体实施方式作进一步的说明。

如图1、图3、图4、图5所示说明可调节多点浮动键合电极的构造。可调节多点浮动键合电极中电极的主要构造包括基座9、台面7、升降机构8、上夹板1、电极4，升降机构8垂直固定在基座9上，上夹板1能够在升降机构8上作上升下降动作，电极固定套2为圆柱形，以过盈配合固定在上夹板1上，上夹板1上具有多个电极固定套2和相应的电极导向连接杆3，可以对样片进行多点键合；上夹板1上的多个电极固定套2按照圆形平面均布或者以其他平面形状均布，例如矩形平面，以适应不同样片规格和键合要求。电极导向连接杆3为阶梯圆柱形，以动配合穿套在电极固定套2内，能够在电极固定套2中上下运动，电极导向连接杆3与电极固定套2之间设置弹簧11，由于弹簧11的弹力，使电极导向连接杆3被推向下方。电极导向连接杆3上端通过螺母12压在电极固定套2上端面，电极导向连接杆3上端螺母12与电极固定套2结合面具有对应的限位槽10和限位凸起，当限位凸起落入限位槽10时电极处于工作位置。具体设置限位凸起时最好使电极导向连接杆3上端螺母12的下端面具有限位凸起，电极固定套2上端面具有对应的限位槽10。

在使用中，将样片放在台面7上时，根据样片的不同规格以及多点键合的工艺要求，调整电极4数量，人工向上提起螺母12，使与螺母12连接的电极导向连接杆3被提起，电极导向连接杆3与电极固定套2之间的弹簧11被压缩，螺母12上的限位凸起脱离电极固定套2上的限位槽10，将电极导向连接杆3旋转一个角度，使限位凸起不与限位槽10相对，放下螺母12，弹簧11的弹力使电极导向连接杆3稳定的停留，使电极4保持在如图2所示可调节多点浮动键合电极中提起电极6状态，该电极4就不能参与此次键合。根据所要键合样片的大小来确定电极数量，如果需要放下电极4，使之处于下位电极5状态，只要按照同样顺序操作，将限位凸起放入限位槽10中即可。适合多种尺寸规格样片键合，经济适用，灵活方便，一机多用。