[实用新型]制造薄膜光伏电池的生产线

权利要求书

1、一种制造薄膜光伏电池的生产线，主要由镀膜腔、传送设备和激光刻线机所组成，其特征在于：在该生产线包括一次镀膜装置、二次镀膜装置和三次镀膜装置，一次镀膜装置、二次镀膜装置和三次镀膜装置之间设有传送设备，所述的一次镀膜装置、二次镀膜装置和三次镀膜装置中包括镀膜腔，镀膜腔内设有喷涂作业时移动的电子枪和使电子枪移动的摆动装置。

2、按权利要求1所述的制造薄膜光伏电池的生产线，其特征在于：所述的各次镀膜装置依次由装载腔、缓冲腔、镀膜腔、缓冲腔、卸载腔和激光刻线机所组成，装载腔和卸载腔两端设有阀门。

3、按权利要求1所述的制造薄膜光伏电池的生产线，其特征在于：所述的摆动装置是：

扫描支架，呈中空T字形，呈T字形扫描支架的上端位于镀膜腔内，扫描支架与镀膜腔之间通过磁流体密封装置轴接，扫描支架下端连接大带轮；

摆盘，呈中空T字形，位于呈T字形扫描支架的上端两侧，摆盘与扫描支架通过磁流体密封装置轴接，摆盘下端设有摆盘轮，摆盘上端设有电子枪；

传动装置，包括传动扫描支架的电机、减速器、传送轮、传送带和传动摆盘的电机、传送轮和传送带，传动摆盘的电机、传送轮和传送带位于扫描支架内，传动摆盘的电机通过传送轮和传送带带动摆盘轮，传动扫描支架的电机通过减速器、传送轮和传送带带动扫描支架转动。