[实用新型]补偿挡板机构有效
申请号: | 200920110172.9 | 申请日: | 2009-07-23 |
公开(公告)号: | CN201459229U | 公开(公告)日: | 2010-05-12 |
发明(设计)人: | 赵益萍;侯荣华;王燕 | 申请(专利权)人: | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 胡小永 |
地址: | 102600 北京市大兴工*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 补偿 挡板 机构 | ||
1.一种补偿挡板机构,其包括补偿挡板、连接架、定位体及固定体,所述补偿挡板的一端固定于所述连接架的一端、所述连接架的另一端与所述定位体连接,所述定位体与所述固定体连接。
2.如权利要求1所述的补偿挡板机构,其特征在于,所述定位体包括T型调整座,所述T型调整座的一端与所述连接架的所述另一端连接。
3.如权利要求2所述的补偿挡板机构,其特征在于,所述定位体还包括L型调整座,所述L型调整座的一端与所述T型调整座的另一端连接,所述L型调整座的另一端与所述固定体连接。
4.如权利要求2所述的补偿挡板机构,其特征在于,在所述连接架与所述T型调整座连接的所述另一端设置有长槽定位孔,在所述T型调整座上设置有与所述连接架上的长槽定位孔匹配的螺纹孔。
5.如权利要求3所述的补偿挡板机构,其特征在于,在所述T型调整座与所述L型调整座连接的所述另一端设置有长槽定位孔,在所述L型调整座上设置有与所述T型调整座上的长槽定位孔匹配的螺纹孔。
6.如权利要求3所述补偿挡板机构,其特征在于,在所述L型调整座与所述固定体连接的所述另一端设置有长槽定位孔,在所述固定体与所述L型调整座连接的位置设置有与所述L型调整座上的长槽定位孔匹配的螺纹孔。
7.如权利要求1至6之任一项所述的补偿挡板机构,其特征在于,所述补偿挡板机构还包括安装于所述固定体底部的凸台。
8.如权利要求7所述的补偿挡板机构,其特征在于,在所述凸台上设置有定位孔,在所述固定体底部与所述凸台连接的位置设置有与所述定位孔匹配的螺纹孔。
9.如权利要求7所述的补偿挡板机构,其特征在于,所述凸台焊接在真空室壁上。
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