[实用新型]补偿挡板机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学部件制造设备，尤其涉及一种光学镀膜设备中的补偿挡板机构。

背景技术

光学镀膜设备包括作为被镀工件(如光学片等)的载体的工件盘、工件盘下部设置的蒸发源等，工件盘上设有通孔，用于安装被镀工件。在光学镀膜设备中，由于蒸发源距离光学片上各部位的远近不同，且同一光学片通常会以不同的膜料被多次蒸镀，因此蒸发源蒸发的膜料不易均匀地蒸镀在被镀工件的表面。为此，目前往往采用补偿挡板来遮挡过多的蒸发材料，以避免镀膜的不均匀。现有的补偿挡板机构的结构示意图如图1所示，补偿挡板11固定于杆状定位体12一端，杆状定位体12的另一端有外螺纹，用于与固定于真空室底板上的杆连接，该杆上端设置有内螺纹，补偿挡板11的位置变化可以通过杆状定位体12与该杆之间的螺纹连接来调节。

上述补偿挡板机构存在以下不足：补偿挡板一经安装，除了通过上述螺纹进行微调位置之外，基本上被固定于一个位置，使得补偿挡板不能方便地根据需要补偿的部位调整位置，因此补偿效果差；另外补偿挡板与杆状定位体的接触面积很小，因此杆状定位体对补偿挡板的支撑面积很小，当补偿挡板受热后容易变形，这种变形也使得补偿效果变差、被镀工件的镀膜不均匀，且易变形的补偿挡板重复使用性差。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术不足之处，提供一种易于调节补偿挡板位置，易于固定补偿挡板，且补偿挡板重复使用性好的补偿挡板机构。

本实用新型通过以下技术方案实现：一种补偿挡板机构，其包括补偿挡板、连接架、定位体及固定体，补偿挡板的一端固定于连接架的一端、连接架的另一端与定位体连接，定位体与固定体连接。

其中，定位体可以包括T型调整座，T型调整座的一端可以与连接架的另一端连接。

其中，定位体还可以包括L型调整座，L型调整座的一端可以与T型调整座的另一端连接，L型调整座的另一端可以与固定体连接。

其中，在连接架与T型调整座连接的所述另一端可以设置有长槽定位孔，在T型调整座与连接架连接的一端可以设置有与连接架上的长槽定位孔匹配的螺纹孔。

其中，在T型调整座与L型调整座连接的所述另一端可以设置有长槽定位孔，在L型调整座与T型调整座连接的一端可以设置有与T型调整座上的长槽定位孔匹配的螺纹孔。

其中，在L型调整座与固定体连接的所述另一端可以设置有长槽定位孔，在固定体与L型调整座连接的位置可以设置有与L型调整座上的长槽定位孔匹配的螺纹孔。

其中，补偿挡板机构还可以包括安装于固定体底部的凸台。

其中，在凸台上可以设置有定位孔，在固定体底部与凸台连接的位置可以设置有与定位孔匹配的螺纹孔。

其中，凸台可以焊接在真空室壁上。

本实用新型的有益效果是：通过设置连接架、T型调整座、L型调整座，以及固定体，使得补偿挡板在上下、前后、左右均有很大的活动范围，可以根据镀膜工艺的需要在真空室内自由调整位置；在不需要进行补偿时，可以将定位体及补偿挡板整体拆卸下来，拆卸方便；且补偿挡板可全部或部分设置于连接架上，加大了连接架对补偿挡板的支撑面积，使得补偿挡板在受热时不易变形，提高了补偿挡板的重复使用性，从而提高了补偿效果及镀膜的均匀性。

附图说明

图1为现有技术的补偿挡板机构的结构示意图；

图2为本实用新型实施例的结构示意图；

图3为图2的A向视图。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型作进一步的描述：

图2为本实用新型实施例的结构示意图，图3为图2的A向视图。如图2和图3所示，依照本实施例的补偿挡板机构包括补偿挡板1、连接架2、定位体3及固定体4。补偿挡板1的一端直接或间接地固定于连接架2的一端，固定的方式可以为例如通过螺钉固定；补偿挡板1的部分面积与连接架2相接触。连接架2的另一端与定位体3连接；定位体3与固定体4连接。

在本实施例中，定位体3可以包括T型调整座5，T型调整座5的一端可以与连接架2的另一端连接，连接的方式可以为：例如在连接架的另一端设置长槽定位孔，该孔与T型调整座一端设置的螺纹孔匹配，两者通过螺钉固定连接。T型调整座与连接架的这种连接方式便于补偿挡板在上下方向的定位和调整。

在本实施例中，定位体3还可以包括L型调整座6，L型调整座6的一端可以与T型调整座5的另一端连接，连接的方式可以为：例如在T型调整座的另一端的两头设置两个长槽定位孔，该孔与L型调整座一端设置的螺纹相匹配，两者通过螺钉固定连接，T型调整座与L型调整座的这种连接方式便于补偿挡板在前后方向(即与图2的纸面方向相垂直的方向)的定位和调整。