[实用新型]一种具有双弯晶固定元素道分光器的X荧光光谱分析仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及测量设备领域，具体涉及X荧光光谱分析仪，特别是涉及一种具有双弯晶固定元素道分光器的X荧光光谱分析仪。

背景技术

现有的波长色散多元素同时测定型X荧光光谱分析仪(简称同定型WDXRFS)中，一般来说真空测量室的四周安装有多个固定元素道(简称元素道)，每个元素道的特征X射线经分光器分光后由探测器检测，产生的脉冲信号经放大器放大后，脉冲高度将按照一峰形曲线分布，即称为该元素的特征X射线谱峰(简称元素谱峰)。仪器调试时必须仔细调节谱峰峰位，并使谱峰分辨率达到最佳，然后设定感兴趣区，计算区内的谱峰面积(脉冲计数率)，即代表该元素特征X射线的强度，与该元素含量成正比，借此即可以对元素含量进行定量分析。

现有的同定型WDXRFS，在真空测量室周边安装了若干个固定元素道分光器。每个采用曲面晶体(以下简称弯晶)的元素道分光器，由入射狭缝管组件、与入射狭缝管组件尾部连接的分光盒组件、与分光盒组件连接的出射狭缝管组件组成。被X光管的X射线照射后样品中的不同元素发出各自的特征X射线，其波长互不相同。这些X射线通过入射线狭缝管端部的狭缝和管内通道以θ角投射到分光盒组件内的分光晶体表面上，其中只有波长λ符合Bragg公式：nλ＝2dSinθ(n为衍射次数，一般为1，d为晶面间距)的元素特征X射线才能以同一θ角被分光晶体反射和聚焦，并通过出射狭缝管组件端部的狭缝进入探测器被检测。根据所检测到的该种元素特征X射线的强度即可计算样品中该元素的含量。其它元素的特征X射线因其波长不符合Bragg公式而被分光晶体和出射狭缝管管壁吸收。

公知的固定元素道分光器中只能安装一块弯晶，并且只有一条单通道光路，只能测定某一种固定的元素。因此，同定型WDXRFS可以同时测定的元素种类与所安装的分光器数量相同。由于安装空间的限制，在直径一定的真空测量室周边可以安装的分光器数量有限，因此仪器可以同时测定的元素种类受到限制。到目前为止，现有的功率≤200W的小型多道WDXRFS仪器中最多可安装12个公知的单弯晶元素分光器，即最多可同时测定12种元素。为了增加可测定元素的种类，不得不加大真空测量室的直径，导致样品至晶体的光程长度增加，由于检测到的X射线强度与光程长度成反比，因此为了保证元素的分析精度，必须加大仪器的功率。即便如此，在功率≥2000W的大型多道WDXRFS仪器中，最多也只能安装约30个公知的单弯晶分光器，而且此时仪器中已显得十分拥挤，安装、调试和维修均已相当困难。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种体积减小、测量的元素数量增多、具有可以同时测定两种元素的具有双弯晶固定元素道分光器的X荧光光谱分析仪。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案是：一种具有双弯晶固定元素道分光器的X荧光光谱分析仪，它包括X光管及X射线发生装置、若干个固定元素道分光器、真空测量室和抽真空系统、自动控制系统、X射线探测器、元素特征X射线谱峰检测装置以及上位PC计算机，其特点是：所述固定元素道分光器包括有入射狭缝管组件、与入射管组件尾部连接的分光盒组件、与分光盒组件连接的出射狭缝管组件；

所述入射狭缝管组件包括有入射通道的管体、安装在该入射通道头部的狭缝宽度调节机构以及安装在该入射通道尾部的光栏板；所述出射狭缝管组件包括有出射通道的管体以及安装在该出射通道头部的狭缝板，该出射狭缝管组件的尾部与所述分光盒组件的盒体连接；所述分光盒组件包括有盒体以及安装在该盒体内部的弯晶组件，该弯晶组件包括有弯晶、晶体托架和入射角调节机构；所述入射通道的光轴通过弯晶的中心，其入射角等于被测元素的衍射角，所述出射通道的光轴通过弯晶的中心，其出射角等于入射角；

所述入射狭缝管组件的管体内的入射通道数量为两条，且其结构相同，各入射通道头部均设置一狭缝宽度调节机构，尾部均设置一光栏板；所述入射管组件的管体的尾部与盒体连接；

所述出射狭缝管组件的数量为两个，且其结构相同，每个出射狭缝管组件的尾部分别与分光盒组件的盒体连接；

所述分光盒组件的盒体内安装有两套弯晶组件，每套弯晶组件与一个入射通道和一个出射狭缝管组件构成一条衍射光路，该光路中，入射角和出射角相等。