[实用新型]硅电容麦克风有效
申请号: | 200920135948.2 | 申请日: | 2009-03-27 |
公开(公告)号: | CN201403200Y | 公开(公告)日: | 2010-02-10 |
发明(设计)人: | 王凯;陈兴福 | 申请(专利权)人: | 瑞声声学科技(常州)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213167*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电容 麦克风 | ||
1.一种硅电容麦克风,包括基板、基板上设有集成电路芯片和MEMS芯片,其特征在于:基板内部镂空开设有声学通道,声学通道两侧的基板面上分别设有第一声孔和第二声孔,第一声孔与第二声孔相互错开且不重叠,声学通道分别与第一声孔和第二声孔相通,基板上还设有与基板组成收容空间屏蔽外界干扰的金属屏蔽罩,声学通道通过第一声孔与金属屏蔽罩和基板组成的收容空间相通。
2、根据权利要求1所述的硅电容麦克风,其特征在于:所述的基板包括叠加在一起的电源层、基地层及将电源层与基地层隔离的电容层,声学通道开设在电容层的内部。
3、根据权利要求1所述的硅电容麦克风,其特征在于:所述声学通道至少有一段走向与基板平行。
4、根据权利要求1所述的硅电容麦克风,其特征在于:所述的声学通道与第一声孔和第二声孔构成的进声通道呈字母“Z”形。
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