[实用新型]悬臂式探针卡有效
申请号: | 200920147109.2 | 申请日: | 2009-04-13 |
公开(公告)号: | CN201382962Y | 公开(公告)日: | 2010-01-13 |
发明(设计)人: | 苏文彬 | 申请(专利权)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067;G01R1/073;G01R31/28;G01R31/26;H01L21/66 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈 怡;颜 涛 |
地址: | 台湾省新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 悬臂 探针 | ||
1、一种悬臂式探针卡,其特征在于,包括:
一印刷电路板,其具有一待测物接触面,该待测物接触面具有一连接区以及一跳线区;
一探针,其经由一固定座而固定在该待测物接触面上,该探针具有一连接端;以及
一软性电路板,其一端与该连接端电连接而另一端与该连接区或该跳线区电连接,
其中该软性电路板具有一差动讯号传输电路、一单端讯号传输电路、一电源讯号传输电路或一接地讯号传输电路。
2、如权利要求1所述的悬臂式探针卡,其特征在于,该软性电路板还具有分别对应于该差动讯号传输电路、该单端讯号传输电路、该电源讯号传输电路或该接地讯号传输电路的至少一差动讯号接点、至少一单端讯号接点、至少一电源讯号接点或至少一接地接点。
3、如权利要求1所述的悬臂式探针卡,其特征在于,该软性电路板还包括至少一接地固定,其连接于该软性电路板的一侧。
4、如权利要求1所述的悬臂式探针卡,其特征在于,该差动讯号传输电路还包括一对接点,以便分别传输正讯号以及负讯号。
5、如权利要求1所述的悬臂式探针卡,其特征在于,该固定座的材质为树脂。
6、如权利要求1所述的悬臂式探针卡,其特征在于,该探针更具有一针尖端,该针尖端与一待测物接触。
7、如权利要求1所述的悬臂式探针卡,其特征在于,为一多待测物测试用悬臂式探针卡或一单一待测物测试用悬臂式探针卡。
8、如权利要求6或7所述的悬臂式探针卡,其特征在于,该待测物为一晶圆、一晶片、一晶粒或一印刷电路板。
9、一种悬臂式探针卡,其特征在于,具有一印刷电路板以及至少一探针,该印刷电路板具有一待测物接触面,该待测物接触面具有一连接区以及一跳线区,而该至少一探针固定在该待测物接触面上,该至少一探针具有一连接端,该悬臂式探针卡包括:
至少一软性电路板,其一端与该连接端电连接而另一端与该连接区或该跳线区电连接。
10、如权利要求9所述的悬臂式探针卡,其特征在于,该至少一软性电路板具有一差动讯号传输电路、一单端讯号传输电路、一电源讯号传输电路或一接地讯号传输电路。
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