[实用新型]悬臂式探针卡

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种探针卡，尤其涉及一种悬臂式探针卡。

背景技术

按目前探针卡已广泛应用于各种测试领域，如印刷电路板测试、晶圆测试、IC封装测试、通讯产品及液晶面板测试等，皆须利用探针卡(probe card)做为测试界面，而在各种探针卡之中，悬臂式探针卡(cantilever probe card，CPC)是最广受应用的一种探针卡。

请参阅图1，其为已知技术的悬臂式探针卡的剖视图。在已知技术中，CPC 10的主体是一个圆盘状的印刷电路板(PCB)11，其具有测试机接触面T以及待测物接触面S，在测试机接触面T上设有补强圈12，以增加PCB11的整体刚性，待测物接触面S上设有受到固定座13所固定的多个悬臂式探针(cantilever probe，CP)14，待测物接触面S通过CP 14的针尖端t而与待测试晶圆(未示于图中)电接触，CP 14的连接端c先电连接至PCB 11上的连接区15，连接区15再电连接至跳线区16，然后跳线区16与测试机上的弹簧针(pogo pin，未示于图中)电性接触，则CP 14可电连接至测试机，故来自测试机的各种讯号可被电导通至待测物而对该待测物进行各种测试。此外，在CPC 10上更设有支撑座17用于固定固定座13，且CPC 10上更设有多个支撑结构18，用以将补强圈12以及支撑座17加强固定在PCB 11上。

但在已知技术中，测试机所输出的各种讯号是经由CP 14而被传输至待测试晶圆，在这样的架构下，多个CP 14以高密集度并排在一起，且CP 14从针尖端t至连接端c的距离相当长，在电阻值与路径长度呈正比的关系下，不但导致CP 14的电阻值偏高，且由于杂散地分布在CP 14间的电感效应(inductance effect)无法获得补偿，会导致经由CP 14所传输的电源讯号在起始阶段(initial stage)会产生显著的电压降(voltage drop)，并极易造成所传输讯号产生接地电位跳动(bounce)、讯号反射(reflection)或串音(crosstalk)，导致电源及讯号的完整性不佳等缺陷，所述的这些缺陷将直接影响讯号的传输效率与品质，特别是在传输高频讯号及低电压准位时，所述缺陷将加倍严重。

因此随着半导体晶片技术与无线通讯晶片技术的发展而采用更高频及低电压准位的信号，急需要对已知的CPC探针结构进行改良，以减少或消除所述缺陷。职是之故，申请人鉴于已知技术中所产生的缺陷，经过悉心试验与研究，并一本锲而不舍的精神，终构思出本案“悬臂式探针卡”，能够克服上述缺点，以下为本案的简要说明。

实用新型内容

鉴于已知技术中所存在的缺陷，本实用新型主要提出一种针对CP的电性补偿架构，在现有的CPC架构下，尽量延伸PCB而减少CP的使用，即以软性电路板来取代部分CP 24其探针的一段而缩减CP的长度。由于软性电路板可视为是PCB的延伸，故不会有已知CP的缺陷，因此所述电性补偿架构可消除已知CP的各种缺陷，并获得补偿PCB讯号或电源讯号的效果，增进讯号或电源在传输时的完整性，还可有效提高阻抗匹配，并相当适用于高频讯号传输的场合，同时所述软性电路板比CP更容易制造，且所述电性补偿架构，可与现有的CPC架构高度相容，无须重新设计PCB与CP，因此所述电性补偿架构还可以有效降低CPC的整体制造成本。

因此根据本实用新型的第一构想，提出一种悬臂式探针卡，其包括：一印刷电路板，其具有一待测物接触面，该待测物接触面具有一连接区以及一跳线区；一探针，其经由一固定座而固定在该待测物接触面上，该探针具有一连接端；以及一软性电路板，其一端与该连接端电连接而另一端与该连接区或该跳线区电连接，其中该软性电路板具有一差动讯号传输电路、一单端讯号传输电路、一电源讯号传输电路或一接地讯号传输电路。

较佳地，本实用新型所提供的悬臂式探针卡，其中该软性电路板还具有分别对应于该差动讯号传输电路、该单端讯号传输电路、该电源讯号传输电路或该接地讯号传输电路的至少一差动讯号接点、至少一单端讯号接点、至少一电源讯号接点或至少一接地接点。

较佳地，本实用新型所提供的悬臂式探针卡，其中该软性电路板还包括至少一接地固定，其连接于该软性电路板的一侧。

较佳地，本实用新型所提供的悬臂式探针卡，其中该差动讯号传输电路还包括一对接点，以便分别传输正讯号以及负讯号。

较佳地，本实用新型所提供的悬臂式探针卡，其中该固定座的材质为树脂。