[实用新型]用于低温制程的具有传动功能的真空装置

权利要求书

1.一种用于低温制程的具有传动功能的真空装置，能够传送一个加工物件沿着一移送方向前进，并包含：一个基座，以及一个架设在该基座上的传动机构，该基座包括一个界定出一真空腔室的腔壁，该腔壁并具有一个架设孔，而该传动机构包括一个架设在基座上并位在真空腔室外的动力源；

其特征在于：该传动机构还包括一个架设在该基座的架设孔上并且和动力源动力衔接的动力主轴、数支可转动地架设在真空腔室内并用来传送加工物件移动的从动轴，以及一个位在该真空腔室内并且动力衔接所述从动轴及动力主轴的动力衔接单元。

2.如权利要求1所述用于低温制程的具有传动功能的真空装置，其特征在于：该动力主轴具有一个位在真空腔室内并且和动力衔接单元动力衔接的入力端，以及一个突出于真空腔室外的马达衔接端，而该动力源包括一个架设在腔壁外的马达，以及一个动力衔接该马达的一个出力端以及动力主轴的马达衔接端的马达皮带。

3.如权利要求1所述用于低温制程的具有传动功能的真空装置，其特征在于：该动力主轴具有一个位在真空腔壁内的入力端，而该传动机构还包括两个平行于该移送方向并且供所述从动轴架设的架板，而所述动力衔接单元具有两个动力衔接在动力主轴的入力端及所述从动轴中的其中两支间的第一衔接皮带，以及数条动力衔接相靠近的两支从动轴的第二衔接皮带。

4.如权利要求3所述用于低温制程的具有传动功能的真空装置，其特征在于：该传动机构还包括一个穿套在动力主轴上的密封环，以及一个将动力主轴安装在基座的腔壁上并将该密封环压向腔壁的外轴盖。