[实用新型]一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置无效
申请号: | 200920166837.8 | 申请日: | 2009-07-20 |
公开(公告)号: | CN201483318U | 公开(公告)日: | 2010-05-26 |
发明(设计)人: | 林宜龙;田亮;张松岭;林建昌;周冠彬;唐召来 | 申请(专利权)人: | 格兰达技术(深圳)有限公司 |
主分类号: | B24B9/02 | 分类号: | B24B9/02;B24B49/12;B24B55/02;G03F1/00 |
代理公司: | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人: | 孙丽芳 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区龙华大浪*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 掩膜版倒边 磨边 装置 | ||
1.一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置,其特征在于:包括倒边磨头,所述倒边磨头在倒边磨头旋转电机的带动下旋转;所述倒边磨头在其中部设置一环形的开口槽,开口槽的上下两个面之间的垂直距离从内到外依次增大,所述开口槽关于一基准水平面对称;以及,电控系统,控制所述倒边磨头旋转电机的动作。
2.根据权利要求1所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置,其特征在于:所述开口槽为90度的开口槽。
3.根据权利要求1所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置,其特征在于:还包括带动所述倒边磨头上下移动的上下移动机构和带动所述倒边磨头及其上下移动机构前后移动的前后移动机构。
4.根据权利要求1、2或3所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置,其特征在于:还包括摄像头,所述摄像头与一显示屏电连接;倒边装置的喷水软管和喷水管接口安装在喷水管支撑板上;在所述倒边磨头的前方安装一风帘,所述风帘的底部、面向掩膜版表面的侧面上开有若干个小孔;所述风帘与一高压气体供给装置连通。
5.根据权利要求1或2所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置,其特征在于:所述倒边磨头旋转电机安装在一倒边磨头电机安装板上,倒边磨头旋转电机的输出轴从所述倒边磨头电机安装板上的孔向下伸出,倒边磨头的轴从与所述倒边磨头电机安装板固连的一磨头轴支撑板上的孔向上伸出与所述倒边磨头旋转电机的输出轴连接。
6.根据权利要求3所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置,其特征在于:所述倒边磨头旋转电机安装在一倒边磨头电机安装板上,倒边磨头旋转电机的输出轴从所述倒边磨头电机安装板上的孔向下伸出,倒边磨头的轴从与所述倒边磨头电机安装板固连的一磨头轴支撑板上的孔向上伸出与所述倒边磨头旋转电机的输出轴连接。
7.根据权利要求6所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置,其特征在于:所述上下移动机构包括升降滑板,其与一升降导板滑动配合连接,所述的倒边磨头电机安装板固装在升降滑板上,所述升降导板与一安装连接板固连;升降电机安装在与所述安装连接板固连的升降电机安装板上,升降电机的输出轴穿过所述升降电机安装板上的孔向上伸出,并与支撑在一升降丝杠螺母支承板上的滚珠丝杠相连,所述升降丝杠螺母支承板与所述的升降滑板固连;所述前后移动机构通过所述安装连接板带动上下移动机构和倒边磨头前后移动。
8.根据权利要求7所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置,其特征在于:所述前后移动机构包括前后移动电机、前后移动滑板,以及前后移动滑轨;所述前后移动电机带动所述前后移动滑板在所述前后移动滑轨上滑动;所述前后移动滑板通过一中间连接板与所述安装连接板连接。
9.根据权利要求8所述的一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置,其特征在于:所述安装连接板与中间连接板之间设置有缓冲单元,所述缓冲单元包括带心轴的缓冲弹簧和导向杆。
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