[实用新型]一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种自动对掩膜版进行倒边加工的倒边装置。

背景技术

掩膜版是广泛应用在电子行业的重要加工工具之一，掩膜版的倒边和磨边是掩膜版加工制造过程中的重要加工环节，其加工质量好坏，直接影响到掩膜版的质量。目前，掩膜版的倒边和磨边工序都是靠人工手动完成，这种加工方式不仅劳动强度大、生产效率低，更重要的是倒边和磨边的质量难以保证，并且加工精度都比较低，很难将经手动倒边和磨边的掩膜版应用到高端产品中，特别是大尺寸掩膜版的倒边和磨边，其加工质量就更难保证。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是针对现有的对掩膜版进行倒边加工的现状，提供一种可以自动完成倒边加工的倒边装置。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种掩膜版倒边磨边机的倒边装置，包括倒边磨头，所述倒边磨头在倒边磨头旋转电机的带动下旋转；所述倒边磨头在其中部设置一环形的开口槽，开口槽的上下两个面之间的垂直距离从内到外依次增大，所述开口槽关于一基准水平面对称；以及，电控系统，控制所述倒边磨头旋转电机的动作。

优选地，所述开口槽为90度的开口槽。

优选地，还包括带动所述倒边磨头上下移动的上下移动机构和带动所述倒边磨头及其上下移动机构前后移动的前后移动机构。

优选地，还包括摄像头，所述摄像头与一显示屏电连接；倒边装置的喷水软管和喷水管接口安装在喷水管支撑板上；在所述倒边磨头的前方安装一风帘，所述风帘的底部、面向掩膜版表面的侧面上开有若干个小孔；所述风帘与一高压气体供给装置连通。

优选地，所述倒边磨头旋转电机安装在一倒边磨头电机安装板上，倒边磨头旋转电机的输出轴从所述倒边磨头电机安装板上的孔向下伸出，倒边磨头的轴从与所述倒边磨头电机安装板固连的一磨头轴支撑板上的孔向上伸出与所述倒边磨头旋转电机的输出轴连接。

优选地，所述上下移动机构包括升降滑板，其与一升降导板滑动配合连接，所述的倒边磨头电机安装板固装在升降滑板上，所述升降导板与一安装连接板固连；升降电机安装在与所述安装连接板固连的升降电机安装板上，升降电机的输出轴穿过所述升降电机安装板上的孔向上伸出，并与支撑在一升降丝杠螺母支承板上的滚珠丝杠相连，所述升降丝杠螺母支承板与所述的升降滑板固连；所述前后移动机构通过所述安装连接板带动上下移动机构和倒边磨头前后移动。

优选地，所述前后移动机构包括前后移动电机、前后移动滑板，以及前后移动滑轨；所述前后移动电机带动所述前后移动滑板在所述前后移动滑轨上滑动；所述前后移动滑板通过一中间连接板与所述安装连接板连接。

优选地，所述安装连接板与中间连接板之间设置有缓冲单元，所述缓冲单元包括带心轴的缓冲弹簧和导向杆。

本实用新型的有益之处是：倒边磨头设置有开口槽，通过开口槽的两边卡住掩膜版一边的上下两条棱进行磨削，可以同时完成两条棱的倒边磨削；

通过设置上下移动机构，可以调整磨边磨头对称基准水平面与被磨边的掩膜版的中性层在同一平面内；通过设置前后移动机构可以对不同厚度的掩膜版进行倒边加工，即通过开口槽的不同部位卡住掩膜版；

倒边装置上设置有喷水软管和风帘，倒边磨削时喷水软管向倒边磨头喷水，以提高磨削加工质量；风帘的作用是将流向掩膜版的水吹入残水槽，保证掩膜版的洁净；

倒边装置上设置有摄像头，摄像头可将掩膜版待倒边的边的位置在显示器上显示，帮助人工尽快正确找正定位掩膜版。

附图说明

图1为本实用新型所述倒边装置的立体结构示意图(安装摄像头)；

图2为本实用新型所述倒边装置的立体结构示意图(未安装摄像头)；

图3为图2所示倒边装置的后部的结构示意图；

图4为图2所示倒边装置的前部结构示意图。

具体实施方式