[实用新型]一种振动校准用激光干涉仪

权利要求书

1.一种振动校准用激光干涉仪，包括激光器和普通分光棱镜，所述普通分光棱镜位于所述激光器的输出光路上，所述普通分光棱镜的分光面与所述普通分光棱镜的输出光路夹角为45°，所述激光器输出光经普通分光棱镜分为呈90°夹角的参考光与测量光，所述参考光方向上设有将参考光原路反射回的参考反射镜，所述测量光方向上设有将测量光原路反射回的测量反射镜，所述测量反射镜与振动物体固定并随所述振动物体移动，所述反射回的参考光和测量光经普通分光棱镜汇集形成总干涉光，其特征在于：所述总干涉光方向设有将总干涉光分成偏振方向正交的两个支路干涉光的偏振分光装置，所述两个支路干涉光光路上分别设有光电接收器。

2.根据权利要求1所述的一种振动校准用激光干涉仪，其特征在于：所述偏振分光装置为偏振分光器。

3.根据权利要求2所述的一种振动校准用激光干涉仪，其特征在于：所述偏振分光器为偏振分光棱镜。

4.根据权利要求1所述的一种振动校准用激光干涉仪，其特征在于：所述激光器输出光路为水平方向，所述经过普通分光棱镜分出的参考光为铅垂方向，所述测量光为水平方向，所述参考反射镜镜面为水平方向，测量反射镜镜面为铅垂方向，所述总干涉光为铅垂方向，所述两个支路干涉光光路分别为铅垂方向和水平方向。

5.根据权利要求1所述的一种振动校准用激光干涉仪，其特征在于：所述两个支路干涉光分别与能够将正交偏振的两路干涉光光信号转换为相位相差90°的第一光电接收器和第二光电接收器连接。

6.根据权利要求1或2或3或4或5所述的一种振动校准用激光干涉仪，其特征在于：所述激光器为单频激光器。