[实用新型]一种振动校准用激光干涉仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种振动测量仪器，特别是涉及一种振动校准用激光干涉仪。

背景技术

目前振动传感器灵敏度的校准方法都是采用基于正弦逼近的激光干涉法，传统的校准方法比如条纹计数、最小点法等由于只有使用一路干涉光，所以只能测量灵敏度的幅值而不能测量灵敏度的相移，且振动测量的频率范围也受到一定的限制。将干涉光通过一定的装置分成两束干涉光，其中任意一路仍然可以用来测量灵敏度幅值，通过两路干涉光进行相位比较，就可测量出加速度灵敏度的相移。

本实用新型是为了解决现有技术中的不足而完成的，本实用新型的目的是提供一种能够扩展振动传感器灵敏度的测量范围、满足振动传感器灵敏度相移测量的光学要求、准确测量振动传感器灵敏度相移的激光干涉仪。

发明内容

本实用新型的一种振动校准用激光干涉仪，包括激光器和普通分光棱镜，所述普通分光棱镜位于所述激光器的输出光路上，所述普通分光棱镜的分光面与所述普通分光棱镜的输出光路夹角为45°，所述激光器输出光经普通分光棱镜分为呈90°夹角的参考光与测量光，所述参考光方向上设有将参考光原路反射回的参考反射镜，所述测量光方向上设有将测量光原路反射回的测量反射镜，所述测量反射镜与振动物体固定并随所述振动物体移动，所述反射回的参考光和测量光经普通分光棱镜汇集形成总干涉光，所述总干涉光方向设有将总干涉光分成偏振方向正交的两个支路干涉光的偏振分光装置，所述两个支路干涉光光路上分别设有光电接收器。

本实用新型的一种振动校准用激光干涉仪还可以是：

所述偏振分光装置为偏振分光器。

所述偏振分光器为偏振分光棱镜。

所述激光器输出光路为水平方向，所述经过普通分光棱镜分出的参考光为铅垂方向，所述测量光为水平方向，所述参考反射镜镜面为水平方向，测量反射镜镜面为铅垂方向，所述总干涉光为铅垂方向，所述两个支路干涉光光路分别为铅垂方向和水平方向。

上述两个支路干涉光分别与能够将正交偏振的两路干涉光光信号转换为相位相差90°的第一光电接收器和第二光电接收器连接。

所述激光器为单频激光器。

本实用新型的一种振动校准用激光干涉仪，相对于现有技术而言由于其在总干涉光方向设有将总干涉光分成偏振方向正交的两个支路干涉光的偏振分光装置，两个支路干涉光光路上分别设有光电接收器而具有的优点为：

1.满足振动传感器灵敏度相移测量的光学要求。

2.除了可以准确测量振动的速度外，还可以准确测量振动传感器灵敏度相移。

3.扩展了振动传感器灵敏度的测量范围。

附图说明

图1本实用新型一种一种振动校准用激光干涉仪实施例示意图。

图号说明

1…激光器             2…普通分光棱镜    3…参考反射镜

4…测量反射镜         6…偏振分光装置

51…第一光电接收器    52…第二光电接收器

下面结合附图图1对本实用新型的一种振动校准用激光干涉仪作进一步详细说明。

具体实施方式

本实用新型的一种振动校准用激光干涉仪，请参考图1，包括激光器1和普通分光棱镜2，普通分光棱镜2位于激光器1的输出光路上，普通分光棱镜2的分光面与普通分光棱镜2的输出光路夹角为45°，激光器1输出光经普通分光棱镜2分为呈90°夹角的参考光与测量光，参考光方向上设有将参考光原路反射回的参考反射镜3，测量光方向上设有将测量光原路反射回的测量反射镜4，测量反射镜4与振动物体固定并随振动物体移动，反射回的参考光和测量光经普通分光棱镜2汇集形成总干涉光。这些结构是现有的激光干涉仪中必须包含的部分，而本实用新型的激光干涉仪的特点在于：总干涉光方向设有可以将总干涉光分成偏振方向正交的两个支路干涉光的偏振分光装置6，两个支路干涉光光路上分别设有光电接收器。具体说明，激光器1为单频激光器。偏振分光装置6为偏振分光器。偏振分光器为偏振分光棱镜。当然还可以是其他结构和种类的偏振分光装置6，只要是能够将总干涉光分为正交的两个支路干涉光即可。更进一步优选的方案为请参考图1，激光器1输出光路为水平方向，经过普通分光棱镜2分出的参考光为铅垂方向，测量光为水平方向，参考反射镜3镜面为水平方向，测量反射镜4镜面为铅垂方向，总干涉光为铅垂方向，两个支路干涉光光路分别为铅垂方向和水平方向。