[实用新型]一种真空碰撞法回收微粒的装置

权利要求书

1.一种真空碰撞法回收微粒的装置，包括真空泵(6)、转子流量计(4)、真空表(3)、微粒回收室(2)，微粒回收室(2)、真空表(3)、转子流量计(4)、真空泵(6)之间通过软管依次连接，其特征在于，所述的微粒回收室(2)为圆筒(10)两端分别与载体平台(7)、上盖(11)连接，载体(8)安装在载体平台(7)内部，通过加固盖(9)将载体(8)固定，载体平台(7)为锥形，下部设置进气口，周向均匀的开有气体通道(13)，通过气体通道(13)与圆筒(10)内部相通。

2.根据权利要求1所述的真空碰撞法回收微粒的装置，其特征在于，所述的载体平台(7)下部的进气口底部接触擦拭布的部分为水平表面。

3.根据权利要求1所述的真空碰撞法回收微粒的装置，其特征在于，所述的气体通道(13)在载体平台(7)周向均匀设置三个气体通道(13)。

4.根据权利要求1所述的真空碰撞法回收微粒的装置，其特征在于，所述的载体(8)上覆盖一层导电胶(5)。

5.根据权利要求1所述的真空碰撞法回收微粒的装置，其特征在于，所述的圆筒(10)与载体平台(7)通过螺纹连接，中间设有密封垫圈(12)。

6.根据权利要求1所述的真空碰撞法回收微粒的装置，其特征在于，所述的圆筒(10)与上盖(11)通过螺纹连接，中间设有密封垫圈(12)。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的真空碰撞法回收微粒的装置，其特征在于，圆筒(10)材料为有机玻璃，上盖(11)为聚四氟乙烯材质。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的真空碰撞法回收微粒的装置，其特征在于，载体平台(7)为聚四氟乙烯材质。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的真空碰撞法回收微粒的装置，其特征在于，载体(8)为碳片或硅片。